申请/专利权人：甬矽半导体(宁波)有限公司

申请日：2023-07-21

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220698803U

主分类号：B23P19/10

分类号：B23P19/10;B25J19/00;H01L21/687

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型提供一种矫正治具和晶圆抓手安装矫正装置，涉及晶圆转运技术领域，该矫正治具用于矫正调节放置圈与机械臂之间的相对位置，矫正治具包括第一固定板和第二固定板，第一固定板用于贴合于机械臂的侧壁，第二固定板与第一固定板折弯连接，且第二固定板的内侧设置有第一定位柱和第二定位柱，第一定位柱用于穿过调节放置圈的定位开口并插入机械臂上的轴孔，第二定位柱用于穿过定位开口两侧的矫正孔，并插入轴孔两侧的定位孔。相较于现有技术，本实用新型提供的矫正治具，能够实现调整放置圈与机械臂之间的同心矫正，矫正效果好，并能够保证晶圆抓手的顺利安装，避免频繁返工，节省了安装时间。

主权项：1.一种矫正治具，用于矫正调节放置圈与机械臂之间的相对位置，其特征在于，所述矫正治具包括第一固定板和第二固定板，所述第一固定板用于贴合于所述机械臂的侧壁，所述第二固定板与所述第一固定板折弯连接，且所述第二固定板的内侧设置有第一定位柱和第二定位柱，所述第一定位柱用于穿过所述调节放置圈的定位开口并插入所述机械臂上的轴孔，所述第二定位柱用于穿过所述定位开口两侧的矫正孔，并插入所述轴孔两侧的定位孔。

全文数据：

权利要求：

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