申请/专利权人：无锡盛迈克传感技术有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220708617U

主分类号：G01L13/02

分类号：G01L13/02;G01L19/06;G01L19/14

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型公开了一种金属膜片高共膜压差传感器，包括壳体，所述壳体的底壁上固设有底盖，所述壳体与底盖之间构成有检测腔，所述检测腔内嵌设有扩散硅压力传感器，所述底盖的底壁两侧均设置有采集口，两个所述采集口的上方分别设有与扩散硅压力传感器底部两侧感压面相连通的压力腔。本装置采用扩散硅压力传感器来采集废气的压差值，扩散硅压力传感器整体采用的为不锈钢隔离膜片，可满足带水汽及腐蚀性介质的废气的检测，能够提高整体的检测质量和检测寿命；同时检测部分采用的是扩散硅压力传感器，在同一个平面可实现同时测量2路不同的压力，并计算压力差值，内部结构更加简单，整体尺寸可以设计的更小。

主权项：1.一种金属膜片高共膜压差传感器，包括壳体1，其特征在于：所述壳体1的底壁上固设有底盖8，所述壳体1与底盖8之间构成有检测腔，所述检测腔内嵌设有扩散硅压力传感器6，所述底盖8的底壁两侧均设置有采集口9；两个所述采集口9的上方分别设有与扩散硅压力传感器6底部两侧感压面相连通的压力腔12；两个所述压力腔12的上方均在壳体1顶壁上嵌设有密封圈14，所述压力腔12与扩散硅压力传感器6之间通过密封圈14过盈密封。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 无锡盛迈克传感技术有限公司 一种金属膜片高共膜压差传感器

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