申请/专利权人：西北工业大学

申请日：2023-12-20

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117852112A

主分类号：G06F30/10

分类号：G06F30/10;G01J3/28;G06F30/20;G06F113/18

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种基于超表面结构紧凑型长波红外多光谱探测器件设计方法，首先选择ZnSe与Ge作为调控材料并确定单元结构和层数；使用FDTD电磁模拟软件进行仿真，建立不同结构超表面的透射率数据库；再进行相关性计算，选取组内相关性最小的一组数据；对选取的数据进行精细加工误差分析，设计对齐标记位，进行先进封装；最后对封装后的器件进行校准、数据采集，再对获得数据进行计算光谱重建，最终获得高分辨率长波红外多光谱信息。本发明提出了一种超紧凑、高分辨率、实时性强的光谱探测器件设计方法，可以实现无接触式、远距离、大面积的实时检测，为危险气体检测、导弹导引、伪装目标识别提供了新的解决方案。

主权项：1.一种基于超表面结构紧凑型长波红外多光谱探测器件设计方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：选择ZnSe与Ge作为调控材料；步骤2：确定调控材料的单元结构和层数；步骤3：利用步骤2中确定的单元结构，使用FDTD电磁模拟软件进行仿真，建立不同结构超表面的透射率数据库；步骤4：对步骤3所建立的数据库中的数据进行相关性计算，选取组内相关性最小的一组数据；步骤5：对步骤4中所选取的数据进行精细加工误差分析，包括厚度、图案角度、纳米柱倾斜角度和衬底厚度；步骤6：设计对齐标记位，进行先进封装；步骤7：对步骤6封装后的器件进行校准、数据采集，再对获得数据进行计算光谱重建，最终获得高分辨率长波红外多光谱信息，完成基于超表面结构紧凑型长波红外多光谱探测器件的设计。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 西北工业大学 基于超表面结构紧凑型长波红外多光谱探测器件设计方法

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