申请/专利权人：中山大学

申请日：2024-02-23

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117840138A

主分类号：B08B7/00

分类号：B08B7/00;B08B3/12;B08B3/08

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.26#实质审查的生效;2024.04.09#公开

摘要：本发明公开了一种干法刻蚀工艺后范德华声子极化激元材料的清洗方法，该清洗方法包括如下步骤：S1.对通过干法刻蚀工艺获得的范德华声子极化激元材料进行等离子体清洗；S2.对经过步骤S1处理的范德华声子极化激元材料进行超声波清洗；其中，等离子体清洗使用的气体为氧气，等离子体清洗的功率为10‑100W、时间为5‑40min；超声波清洗使用的清洗介质含有丙酮，超声波清洗的功率为200‑500W、时间为3‑60s。本发明通过先等离子体清洗后超声波清洗的方法对干法刻蚀工艺后的范德华声子极化激元材料进行处理，能够在不损伤材料声子极化激元效应的前提下，有效地减少材料表面颗粒和去除残留的光刻胶。

主权项：1.一种干法刻蚀工艺后范德华声子极化激元材料的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括如下步骤：S1.对通过干法刻蚀工艺获得的范德华声子极化激元材料进行等离子体清洗；S2.对经过步骤S1处理的范德华声子极化激元材料进行超声波清洗；步骤S1中，所述等离子体清洗使用的气体为氧气，所述等离子体清洗的功率为10-100W、时间为5-40min；步骤S2中，所述超声波清洗使用的清洗介质含有丙酮，所述超声波清洗的功率为200-500W、时间为3-60s。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中山大学 一种干法刻蚀工艺后范德华声子极化激元材料的清洗方法

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