申请/专利权人：中国人民解放军国防科技大学

申请日：2024-01-30

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN117647237B

主分类号：G01C19/5684

分类号：G01C19/5684;G01C19/5776

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2024.03.22#实质审查的生效;2024.03.05#公开

摘要：本发明公开了一种环形微机电陀螺及其模态匹配修调方法，该环形微机电陀螺包括环形谐振器，环形谐振器包括锚点区与谐振环，谐振环通过支撑梁设在锚点区的中心位置，其特征在于，还包括若干第一导电回路；谐振环的外环壁上间隔设有若干凸起，且凸起与第一导电回路一一对应；第一导电回路的两端设在锚点区的第一端，第一导电回路的中段位于支撑梁的第一端、谐振环的第一端以及对应凸起的第一端上，且各第一导电回路在谐振环上依次间隔分布。本发明应用于微机电系统技术领域，能够在不造成结构损伤的前提下，适用于包括压电驱动、电磁驱动和静电驱动等各种驱动方式在内的环形微机电陀螺的模态匹配修调。

主权项：1.一种环形微机电陀螺，包括环形谐振器，所述环形谐振器包括锚点区与谐振环，所述谐振环通过支撑梁设在所述锚点区的中心位置，其特征在于，还包括若干第一导电回路；所述谐振环的外环壁上间隔设有若干凸起，且所述凸起与所述第一导电回路一一对应；所述第一导电回路的两端设在所述锚点区的第一端，所述第一导电回路的中段位于所述支撑梁的第一端、所述谐振环的第一端以及对应所述凸起的第一端上，且各所述第一导电回路在所述谐振环上依次间隔分布；每一所述第一导电回路40%以上的电阻集中在位于对应所述凸起上的部分线体上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国人民解放军国防科技大学 一种环形微机电陀螺及其模态匹配修调方法

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