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【发明授权】一种具有拉晶状态监测装置的拉晶设备_曲靖阳光新能源股份有限公司_202310358353.8 

申请/专利权人:曲靖阳光新能源股份有限公司

申请日:2023-04-06

公开(公告)日:2024-04-09

公开(公告)号:CN116397319B

主分类号:C30B15/26

分类号:C30B15/26;C30B29/06

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.09#授权;2023.07.25#实质审查的生效;2023.07.07#公开

摘要:本发明公开了一种具有拉晶状态监测装置的拉晶设备,包括:炉体,炉体顶端侧壁上设置有观窗,炉体外壁上设置有朝向观窗的监测组件,炉体内设置有坩埚、拉晶组件与热场。本发明的目的在于提供一种结构简单、监测精准度高的具有拉晶状态监测装置的拉晶设备。

主权项:1.一种具有拉晶状态监测装置的拉晶设备,其特征在于,包括:炉体(1),炉体(1)顶端侧壁上设置有观窗(2),炉体(1)外壁上设置有朝向观窗(2)的监测组件,炉体(1)内设置有坩埚(3)、拉晶组件与热场,炉体(1)顶端设置有安装板(14);炉体(1)内设置有取料机构,取料机构包括:液压缸(24)、连接板(25)、第一限位板(26)、第二限位板(27),安装板(14)底端设置有竖直方向的连接板(25),连接板(25)一侧壁上垂直设置有L型的第一限位板(26)与第二限位板(27),第一限位板(26)上设置有L型滑槽(28),第二限位板(27)上设置有与L型滑槽(28)同轴线的Y型滑槽(29),第一限位板(26)与第二限位板(27)之间设置有T型移动板(30),T型移动板(30)一侧壁上部设置有第一滑块(31),第一滑块(31)能够在L型滑槽(28)内往复移动,T型移动板(30)另一侧壁顶端设置有第二滑块(32),第二滑块(32)能够在Y型滑槽(29)内往复移动,连接板(25)靠近第一限位板(26)的一侧壁上铰接有液压缸(24),液压缸(24)的活塞杆与第一滑块(31)转动连接;T型移动板(30)的水平板远离液压缸(24)的一侧壁上设置有U型架(33),U型架(33)内设置有第一电缸(34),第一电缸(34)的活塞杆上设置有齿条(35),U型架(33)两侧边框拐角处分别转动连接有第一连杆(36),第一连杆(36)靠近第一电缸(34)的一端设置有与齿条(35)相互啮合的弧形齿轮(37),U型架(33)两端分别转动连接有第二连杆(38),第三连杆(39)一端与第二连杆(38)的自由端转动连接,第三连杆(39)另一端设置有V型夹板(40),第一连杆(36)的自由端与第三连杆(39)转动连接;炉体(1)一侧壁上设置有第一出料口(41),第一出料口(41)上方设置有与其连通的空腔(42),第一出料口(41)两侧内壁与底端内壁上分别设置有滑槽(43),空腔(42)顶端内壁上设置有第二电缸(44),第二电缸(44)的活塞杆朝下与封板(45)顶端连接,封板(45)能够在滑槽(43)内往复移动;当单晶硅棒制备成型后,启动液压缸(24),液压缸(24)的活塞杆收缩,带动第一滑块(31)沿L型滑槽(28)的竖直槽向下移动,带动T型移动板(30)与其上的夹持组件向下移动,初始状态时,两个V型夹板(40)分开,当夹持组件向下移动至适宜位置后关闭液压缸(24),启动第一电缸(34),第一电缸(34)的活塞杆收缩,带动齿条(35)靠近第一电缸(34),通过齿条(35)与两个弧形齿轮(37)之间的齿轮齿条啮合传动,带动两个弧形齿轮(37)相向旋转,带动两个第一连杆(36)相向摆动,带动两个第三连杆(39)相互靠近,带动第二连杆(38)相向摆动,带动两个V型夹板(40)相互靠近,两个V型夹板(40)对单晶硅棒进行夹持固定,防止单晶硅棒与拉晶绳(16)突然脱离,造成单晶硅棒掉落,提高单晶硅棒的生产质量和生产效率;通过第一电缸(34)带动齿条(35)移动,调节两个V型夹板(40)的间距,实现V型夹板(40)对不同直径的单晶硅棒进行夹持固定;当需要将单晶硅棒输出炉体(1)时,启动第二电缸(44),第二电缸(44)的活塞杆收缩,带动封板(45)沿滑槽(43)向上移动,第一出料口(41)打开,启动液压缸(24),液压缸(24)的活塞杆伸出,带动第一滑块(31)与T型移动板(30)沿L型滑槽(28)的竖直槽向上移动,带动夹持组件与其上的单晶硅棒向上移动,T型移动板(30)带动第二滑块(32)沿Y型滑槽(29)的竖直槽向上移动,当第二滑块(32)移动至Y型滑槽(29)的拐角处时,第二滑块(32)沿Y型滑槽(29)的斜槽向远离Y型滑槽(29)拐角处的方向移动,带动T型移动板(30)绕第二滑块(32)旋转,使得第一滑块(31)进入L型滑槽(28)的水平槽内,液压缸(24)的活塞杆继续伸出,带动T型移动板(30)与单晶硅棒沿L型滑槽(28)的水平槽向前移动,单晶硅棒穿过第一出料口(41)延伸出炉体(1),工人取下单晶硅棒后,液压缸(24)的活塞杆收缩,带动T型移动板(30)沿反方向回复原位,取料机构能够快速将单晶硅棒输出炉体(1),取料过程稳定性高、安全有序,单晶硅棒夹持牢固,输送过程不易损坏,取料效率高,使用方便,提高单晶硅棒的生产效率;针对不同规格的单晶硅棒,调节夹持位置,保证取料过程安全性;炉体(1)一侧设置有供料装置,供料装置包括:料仓(46)、机架(47)、输料管(48)、电动机(49),炉体(1)一侧壁上可拆卸设置有机架(47),机架(47)内设置有同轴线的电动机(49)与输料仓(50),输料仓(50)呈竖直设置的鼓状结构,电动机(49)的输出轴与曲柄(51)一端连接,输料仓(50)内倾斜设置有拨料板(52),输料仓(50)两侧壁上分别设置有通口(53),摆杆(54)一端依次穿过通口(53)、拨料板(52)轴线、输料仓(50)与曲柄(51)另一端转动连接,摆杆(54)与拨料板(52)固定连接,通口(53)内壁与摆杆(54)之间通过柔性垫密封连接;输料仓(50)一侧壁上转动连接有滑槽体(55),滑槽体(55)内滑动设置有弧形杆(56),弧形杆(56)两端分别与摆杆(54)转动连接,输料仓(50)底端设置有第二出料口(57),倾斜设置的输料管(48)顶端与第二出料口(57)连通,输料管(48)底端延伸入炉体(1)内,输料管(48)底端位于坩埚(3)上方,将原料送入坩埚(3)内,第二出料口(57)与输料管(48)的连接处设置有阀门(58),机架(47)顶端设置有料仓(46),料仓(46)底端与输料仓(50)顶端的进料口(59)连通,料仓(46)顶端设置有接口(60),料仓(46)与进料口(59)的连接处设置有阀门(58)。

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