申请/专利权人：株式会社日立高新技术

申请日：2018-11-12

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN112868082B

主分类号：H01J37/30

分类号：H01J37/30;G01N1/28

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权;2021.06.15#实质审查的生效;2021.05.28#公开

摘要：本公开涉及图像形成方法，以将多层结构体中所含的多个分层的信息遍及大范围显性化、或进行了显性化的对象层的图像化为目的。提出一种方法，包含：将样品表面的法线方向的轴作为旋转轴使所述样品旋转，并且经由设置于从样品分离的位置且具有使离子束选择性穿过的开口的掩模从相对于所述法线方向倾斜的方向朝向所述样品照射离子束，由此形成具有相对于样品表面倾斜的带状的倾斜面的孔；以及基于通过对所述带状的倾斜面中所含的所述对象层照射带电粒子束而得到的信号来形成从与所述对象层的所述倾斜面交叉的方向来看的第1图像。

主权项：1.一种形成由层叠了多个层的样品中所含的对象层或多个层构成的图案的图像的方法，所述方法：将所述样品表面的法线方向的轴作为旋转轴使所述样品旋转，并且经由设置于从所述样品分离的位置且具有使离子束选择性穿过的开口的掩模从相对于所述法线方向倾斜的方向朝向所述样品照射离子束，由此形成具有相对于样品表面倾斜的带状的倾斜面的孔，对该带状的倾斜面照射带电粒子束，检测基于该照射得到的带电粒子，基于该带电粒子的检测来生成包含所述倾斜面中所含的多个不同的带状的亮度区域的第1图像，使用该第1图像来确定所述对象层、包含由所述多个层构成的图案的亮度区域、或由所述多个层构成的图案。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社日立高新技术 图像形成方法以及图像形成系统

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