申请/专利权人：浙江浩鑫半导体材料有限公司

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220753387U

主分类号：H01L21/673

分类号：H01L21/673

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及石英舟托盘技术领域，特别公开了一种组装式石英舟托盘，包括石英舟托盘，所述石英舟托盘的左侧端部开设有两个矩形槽，两个所述矩形槽的内部均转动安装有连接板，每个所述连接板的侧端部均开设有侧卡槽，且石英舟托盘用于承装石英舟；其中，所述石英舟托盘右侧的端部均开设有侧滑槽，每个所述侧滑槽的内部均滑动安装有侧卡板，且侧滑槽和连接板用于组装两组石英舟托盘，通过使用者可以将连接板旋转进矩形槽内部，此时连接板的侧壁与磁块磁吸住，此时连接板在运输时不会自行旋转，在石英舟托盘承装石英舟时，石英舟托盘底部的多个下护垫可以起到较好的缓冲作用，有效提高了石英舟的稳定性，同时侧护垫可以防止石英舟发生磕碰损坏。

主权项：1.一种组装式石英舟托盘，包括石英舟托盘（1），其特征在于，所述石英舟托盘（1）的左侧端部开设有两个矩形槽（11），两个所述矩形槽（11）的内部均转动安装有连接板（13），每个所述连接板（13）的侧端部均开设有侧卡槽（15），且石英舟托盘（1）用于承装石英舟；其中，所述石英舟托盘（1）右侧的端部均开设有侧滑槽（17），每个所述侧滑槽（17）的内部均滑动安装有侧卡板（18），且侧滑槽（17）和连接板（13）用于组装两组石英舟托盘（1）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江浩鑫半导体材料有限公司 一种组装式石英舟托盘

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD