申请/专利权人：钱塘科技创新中心

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220746139U

主分类号：C30B25/12

分类号：C30B25/12;C30B29/04;C23C16/458;C23C16/511

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本申请涉及一种基片台，用于容纳基片，包括底座和至少一盖板；底座上设有至少一第一凹腔，第一凹腔的侧壁具有与基片相抵接的部分；盖板上设有至少一通孔，盖板可更换地与底座配合，不同盖板的厚度不同；盖板与底座配合时，第一凹腔的投影位于通孔的投影边缘的内部，盖板的上表面高于基片的上表面。本申请能根据基片的生长阶段调整盖板的厚度，如此，改善了基片的生长状态，提高了基片的生长质量。

主权项：1.一种基片台，用于容纳基片，其特征在于，包括底座和至少一盖板；所述底座上设有至少一第一凹腔，所述第一凹腔的侧壁具有与所述基片相抵接的部分；所述盖板上设有至少一通孔，所述盖板可更换地与所述底座配合，不同所述盖板的厚度不同；所述盖板与所述底座配合时，所述第一凹腔的投影位于所述通孔的投影边缘的内部，所述盖板的上表面高于所述基片的上表面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 钱塘科技创新中心 一种基片台

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