申请/专利权人：杭州顶星电子有限公司

申请日：2023-09-01

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220745303U

主分类号：B66F11/00

分类号：B66F11/00;C30B15/00;B08B1/12;B08B1/30;B66F13/00;B66F17/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种高强度半导体单晶炉支架，包括支架，支架底部安装有单晶炉主体，所述单晶炉主体与支架之间设有缓冲组件；支架顶部设有用于清理单晶炉外壁的清理组件；支架侧面固定有升降座，所述升降座上滑动连接有用于载人升降维护单晶炉顶端设备的升降组件。本实用新型中，缓冲套与缓冲块配合，有效地缓冲、吸收外界的震动，支架顶部紧贴单晶炉主体外壁，增强了缓冲减震效果；清理组件，起到一个便捷的清理效果；工作人员维护单晶炉主体顶端设备时，启动电动伸缩杆使活动杆进行扩展将承载座升至单晶炉主体顶端处，此时，工作人员即可进行维护工作，承载座四周的防护栏起到一个良好的防护效果。

主权项：1.一种高强度半导体单晶炉支架，包括支架1，支架1底部安装有单晶炉主体2，所述单晶炉主体2与支架1之间设有缓冲组件3，其特征在于：支架1顶部设有用于清理单晶炉外壁的清理组件4；支架1侧面固定有升降座5，所述升降座5上滑动连接有用于载人升降维护单晶炉顶端设备的升降组件6。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 杭州顶星电子有限公司 一种高强度半导体单晶炉支架

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