申请/专利权人：江西兆驰半导体有限公司

申请日：2023-12-06

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117832337A

主分类号：H01L33/00

分类号：H01L33/00;H01L33/22;B82Y30/00;B82Y40/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明公开了一种蓝宝石衬底加工方法，包括：S1、在蓝宝石衬底上沉积SiO2层，得到第一衬底；S2、在所述第一衬底上涂覆光刻胶，得到光刻胶层，并在所述光刻胶层上制作图形；S3、利用所述图形对所述第一衬底进行刻蚀处理，以形成图形化蓝宝石衬底，所述图形化蓝宝石衬底的图形包括阵列布置的多个锥形凸起，所述锥形凸起包括Al2O3底座和SiO2锥形部分；S4、将所述图形化蓝宝石衬底浸入到聚二甲基二烯丙基氯化铵的水溶液中，形成聚二甲基二烯丙基氯化铵吸附层；S5、将步骤S4得到的衬底浸入到SiO2纳米球颗粒分散液中，在所述聚二甲基二烯丙基氯化铵吸附层上吸附SiO2纳米球颗粒，得到第二衬底；S6、经退火处理后得到成品。本发明能够提高LED光通量和光输出功率。

主权项：1.一种蓝宝石衬底加工方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、在蓝宝石衬底上沉积SiO2层，得到第一衬底；S2、在所述第一衬底上涂覆光刻胶，得到光刻胶层，并在所述光刻胶层上制作图形；S3、利用所述图形对所述第一衬底进行刻蚀处理，以形成图形化蓝宝石衬底，所述图形化蓝宝石衬底的图形包括阵列布置的多个锥形凸起，所述锥形凸起包括Al2O3底座和SiO2锥形部分；S4、将所述图形化蓝宝石衬底浸入到聚二甲基二烯丙基氯化铵的水溶液中，在所述图形化蓝宝石衬底上形成聚二甲基二烯丙基氯化铵吸附层；S5、将步骤S4得到的衬底浸入到SiO2纳米球颗粒分散液中，在所述聚二甲基二烯丙基氯化铵吸附层上吸附SiO2纳米球颗粒，得到第二衬底；S6、所述第二衬底经退火处理后，得到成品。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江西兆驰半导体有限公司 一种蓝宝石衬底加工方法、蓝宝石衬底及LED

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