申请/专利权人：常州高特新材料股份有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117821169A

主分类号：C11D1/825

分类号：C11D1/825;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/33;C11D3/16;C11D3/60

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.23#实质审查的生效;2024.04.05#公开

摘要：本发明涉及硅片清洗技术领域，具体涉及一种环保硅片清洗液。该环保硅片清洗液按照质量份数的组成为：硅粉腐蚀剂10‑20份，表面活性剂6‑10份，助溶剂10‑16份，金属络合物6‑10份，硅烷偶联剂1‑2份。本发明硅片清洗液能够有效的去除附着在硅片表面的杂质，确保硅片表面的洁净度，且本发明清洗液不含有毒、有害及污染环境物质，环保性能好，且能保证清洗效果。

主权项：1.一种环保硅片清洗液，其特征在于，所述环保硅片清洗液按照质量份数的组成为：硅粉腐蚀剂10-20份，表面活性剂6-10份，助溶剂10-16份，金属络合物6-10份，硅烷偶联剂1-2份。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 常州高特新材料股份有限公司 一种环保硅片清洗液

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