申请/专利权人：华中科技大学;国家电网有限公司;中国电力科学研究院有限公司;中国电力科学研究院有限公司武汉分院;国网江西省电力有限公司供电服务管理中心

申请日：2023-12-11

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117877959A

主分类号：H01J43/10

分类号：H01J43/10;H01J43/28;G01T1/29;G01T1/18

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及一种微小电子束用电子计数装置、电子计数系统及其测量方法，电子计数系统包括电流测量单元以及电子计数装置，法拉第筒的输出端与电流测量单元连接；电子计数装置包括法拉第筒与电子倍增管；电子倍增管容置于法拉第筒内，电子倍增管的外周壁与法拉第筒的内周壁之间留有间隙，法拉第筒通过第一绝缘管与第二绝缘管和电子倍增管连通；测量流程：将电子束倍增‑测得电子电流值‑推算出电子数；与直接使用电子倍增管内部的法拉第筒收集电子相比，电子倍增管放大后的电子输入进法拉第筒进行测量，提高了电子测量的准确性。

主权项：1.一种微小电子束用电子计数装置，其特征在于：包括法拉第筒与电子倍增管；所述电子倍增管容置于所述法拉第筒内，所述电子倍增管的外周壁与所述法拉第筒的内周壁之间留有间隙，所述法拉第筒通过第一绝缘管与第二绝缘管和所述电子倍增管连通，第一导线的一端穿过所述第一绝缘管插设于所述电子倍增管内、且与所述电子倍增管内的负电极连接，第二导线的一端穿过所述第二绝缘管插设于所述电子倍增管内、且与所述电子倍增管内的正电极连接；所述第一导线与所述第二导线配合用于为所述电子倍增管提供倍增电压；所述电子倍增管用于放大入射电子束；所述法拉第筒用于收集电子，将收集的电子转换成电流。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华中科技大学;国家电网有限公司;中国电力科学研究院有限公司;中国电力科学研究院有限公司武汉分院;国网江西省电力有限公司供电服务管理中心 微小电子束用电子计数装置、电子计数系统及其测量方法

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