申请/专利权人：东莞南玻光伏科技有限公司;中国南玻集团股份有限公司

申请日：2023-12-22

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117878185A

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/068

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本申请公开了SE太阳电池及其制备方法。本申请的SE电池的制备方法包括以下步骤：提供硅衬底，所述硅衬底具有相对设置的第一PSG层和第二PSG层；通过激光掺杂对所述第一PSG层处理，得到SE结构；向所述第一PSG层供给含臭氧的气体，在所述第一PSG层上形成氧化保护层；去除所述第二PSG层后利用酸液进行抛光。本申请实施例利用O3的强氧化性在激光掺杂后的正表面快速形成氧化层，具有低成本、制程简单的优势。通过这种方式，电池片在进行抛光时，正面重掺杂区域不被酸气腐蚀，有效地减少了制程损伤带来的俄歇复合，达到提升电池转换效率的目的。

主权项：1.SE太阳电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：提供硅衬底，所述硅衬底具有相对设置的第一PSG层和第二PSG层；通过激光掺杂对所述第一PSG层处理，得到SE结构；向所述第一PSG层供给含臭氧的气体，在所述第一PSG层上形成氧化保护层；去除所述第二PSG层后利用酸液进行抛光。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 东莞南玻光伏科技有限公司;中国南玻集团股份有限公司 SE太阳电池及其制备方法

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