申请/专利权人：艾华(无锡)半导体科技有限公司

申请日：2023-12-21

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117873068A

主分类号：G05D1/43

分类号：G05D1/43;G05D1/633;G05D109/10

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及ALD设备控制技术领域，具体为一种避免多运动机构碰撞的方法，本该避免多运动机构碰撞的方法在手、自动状态下均能有效提供干涉保护，应用场景更加全面；干涉区的设置只与轴坐标有关，而与自动运行逻辑无关，所以在自动运行逻辑变更时，不影响本发明提供的干涉保护，并且，由于本发明提供的相关干涉逻辑固定后，干涉区的设置调整只需更改轴坐标，因此任何操作人员都可以根据现场需求调整干涉区的设置，以满足不同的现场需求；本发明可以设置多个干涉区，来完成多轴的、多干涉逻辑的、相对复杂的干涉保护。

主权项：1.一种避免多运动机构碰撞的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对有保护需要的运动机构设置干涉区组ItvAra={[XL0，XH0]，…，[XLn，XHn]}，其中，XLn表示相应干涉区的起点，XHn表示相应干涉区的终点，且XHnXLn；S2、设置干涉区启用开关组ItvEn={K0，…，Kn}，Kn表示相应干涉区对应的启用开关，当Kn启用时相应干涉区被判定为有效干涉区；S3、设置干涉区被占位输入组Itvd={D0，…，Dn}，Dn表示相应干涉区的被占位输入信号；S4、设置干涉区占位输出组ItvOt={Y0，…，Yn}，Yn表示相应干涉区的占位输出信号；S5、设置干涉区异常输出组ItvErr={E0，…，En}，En相应干涉区的异常输出信号；S6、当启用开关Km为“TRUE”时，干涉区[XLm，XHm]被判定为有效干涉区；如果运动机构运行的目标位置Pt位于干涉区[XLm，XHm]内，即XLmPtXHm，则需要首先对干涉区[XLm，XHm]的被占位输入信号Dm进行判定，如果被占位输入信号Dm为“FALSE”，则允许运动机构运行至目标位置Pt，如果被占位输入信号Dm为“TRUE”，则不允许运动机构运行；S7、当运动机构开始向目标位置Pt运行，或运动机构的当前位置Pc已经处于干涉区[XLm，XHm]内，即XLmPcXHm时，干涉区[XLm，XHm]的占位输出信号Ym被设定为“TRUE”，限制相干运动机构动作，以保证干涉区[XLm，XHm]安全，直到运动机构再次离开干涉区PtXLm||PtXHmPcXLm||PcXHm，Ym信号才会恢复FALSE；S8、如果相干运动机构未被正确限制，则会出现干涉区[XLm，XHm]的占位输出信号Ym和被占位输入信号Dm均为“TRUE”的情况，此时，干涉区[XLm，XHm]的异常输出信号Em会触发为“TRUE”，发出报警并立刻停机，直到人为处理后复位。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 艾华(无锡)半导体科技有限公司 一种避免多运动机构碰撞的方法、设备及可读存储介质

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