申请/专利权人：华天慧创科技(西安)有限公司

申请日：2024-03-04

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN117872675A

主分类号：G03F7/00

分类号：G03F7/00;G02B3/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.30#实质审查的生效;2024.04.12#公开

摘要：本发明涉及晶圆级镜头加工制造技术领域，公开了一种晶圆级镜头的纳米压印制作方法，包括：在玻璃基底上设置压印胶，获得设置有压印胶的玻璃基底；设置有压印胶的玻璃基底上压印胶呈孤岛状分布；将设置有压印胶的玻璃基底与透镜工作模板进行板对板压印，并经紫外固化后进行烘烤，获得带有若干透镜的玻璃基底；带有若干透镜的玻璃基底包括带有若干凸面透镜的玻璃基底和带有若干凹面透镜的玻璃基底；将带有若干凸面透镜的玻璃基底上的凸面透镜与带有若干凹面透镜的玻璃基底上的凹面透镜进行键合、切割后得到若干单颗的晶圆级镜头；本发明能够确保玻璃基底上的透镜质地坚硬，避免键合过程中发生划伤和面型变化，有效保证了晶圆级镜头的整体成像效果。

主权项：1.一种晶圆级镜头的纳米压印制作方法，其特征在于，包括：在玻璃基底上设置压印胶，获得设置有压印胶的玻璃基底；其中，所述设置有压印胶的玻璃基底上压印胶呈孤岛状分布；在玻璃基底上设置压印胶，获得设置有压印胶的玻璃基底的过程，具体如下：在玻璃基底的表面设置光刻框（11）；其中，所述光刻框（11）为若干阵列设置的正方形框体结构，相邻两个正方形框体结构之间紧密相连，每个正方形框体结构的内部区域对应一个凸面透镜或一个凹面透镜的面积；在所述光刻框（11）的每个正方形框体结构的内部区域分别点设压印胶，并使所述压印胶在所述玻璃基底上呈孤岛状结构，获得所述设置有压印胶的玻璃基底；将所述设置有压印胶的玻璃基底与透镜工作模板进行板对板压印，并经紫外固化后，获得带有若干透镜初始产品的玻璃基底；对所述带有若干透镜初始产品的玻璃基底进行烘烤，获得带有若干透镜的玻璃基底；其中，所述带有若干透镜的玻璃基底包括带有若干凸面透镜的玻璃基底和带有若干凹面透镜的玻璃基底；将所述带有若干凸面透镜的玻璃基底上的凸面透镜与所述带有若干凹面透镜的玻璃基底上的凹面透镜进行键合、切割后得到若干单颗的晶圆级镜头。

全文数据：

权利要求：

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