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【发明授权】装载盒及对象基板的装载方法_爱玻索立克公司_202080013515.9 

申请/专利权人:爱玻索立克公司

申请日:2020-03-12

公开(公告)日:2024-04-12

公开(公告)号:CN113424304B

主分类号:H01L21/673

分类号:H01L21/673;H01L21/677;B65D85/48;H05K13/00

优先权:["20190312 US 62/816,984","20190312 US 62/816,995","20190329 US 62/826,105","20190329 US 62/826,122","20190329 US 62/826,144"]

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.12#授权;2022.01.21#专利申请权的转移;2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要:本实施方式涉及一种装载盒以及适用其的对象基板的装载方法。根据本实施方式的装载盒包括:上板;下板,与上述上板隔开间隔相对;边缘支撑部,将上述上板和上述下板连接,支撑对象基板的左、右边缘;及背面支撑部,将上述上板和上述下板连接,支撑上述对象基板的中心和背面边缘。

主权项:1.一种装载盒,其特征在于,包括:上板,下板,与上述上板隔开间隔相对,装载空间,在上述上板和上述下板之间形成,以容纳对象基板,边缘支撑部,将上述上板和上述下板连接,支撑上述对象基板的左、右边缘,及背面支撑部,将上述上板和上述下板连接,支撑上述对象基板的背面边缘;上述背面支撑部包括:背面框架,在背面连接上述上板和上述下板,及中间支撑部件,从上述背面框架向前方突出;上述对象基板为包括具有或不具有贯通孔的玻璃基板的基板;上述中间支撑部件,以上述边缘支撑部为基准,即以0mm为基准,将对象基板的最大挠度控制在3mm以内,上述中间支撑部件包括中间支撑杆,上述中间支撑杆倾斜设置,使得中间衬垫部件所在的上述中间支撑部件的一部分比靠近上述背面框架的上述中间支撑部件的另一部分高,上述中间衬垫部件从上述中间支撑部件的上表面突出,直接与上述对象基板相接,控制上述对象基板的挠度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 爱玻索立克公司 装载盒及对象基板的装载方法

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