申请/专利权人:浙江昶科陶瓷新材料有限公司
申请日:2023-09-08
公开(公告)日:2024-04-12
公开(公告)号:CN220774335U
主分类号:H01L21/687
分类号:H01L21/687;H01L21/677;H01L31/18
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.12#授权
摘要:本实用新型公开了一种硅晶片夹取转运组件,涉及转运组件技术领域。一种硅晶片夹取转运组件,包括:夹持机构,用以夹持硅晶片;第三水平驱动机构,所述第三水平驱动机构上通过支撑架安装有转运框,所述转运框中对称固定连接有限位插槽架,用以对所述硅晶片进行限位;本实用新型通过设置缓冲架,能够先行将夹持机构上的硅晶片转运到缓冲架上,而缓冲架并不会占用转运框的面积,因此缓冲架在转运框中升降时,能够更加方便的将更多的硅晶片转移到转运框中,进而避免夹持机构在伸入到转运框中时,占据过多转运框内部面积,而造成无法将更多的硅晶片转运到转运框内。
主权项:1.一种硅晶片夹取转运组件,其特征在于,包括:夹持机构,用以夹持硅晶片;第三水平驱动机构51,所述第三水平驱动机构51上通过支撑架5安装有转运框52,所述转运框52中对称固定连接有限位插槽架53,用以对所述硅晶片进行限位;缓冲架61,与所述转运框52相对应,所述缓冲架61用于将夹持机构上的硅晶片转移至限位插槽架53上。
全文数据:
权利要求:
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