申请/专利权人：株式会社安川电机

申请日：2021-05-20

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN113715033B

主分类号：B25J11/00

分类号：B25J11/00;B25J9/00;B25J9/16;C23C16/54

优先权：["20200521 JP 2020-089230"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2021.12.17#实质审查的生效;2021.11.30#公开

摘要：本发明提供搬运装置、搬运方法以及搬运系统，提高基板的搬运效率。搬运装置具备第一机器人、第二机器人以及移动式缓冲器。第一机器人固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。第二机器人固定于搬运室的室内,是相对于第二处理室组搬运基板的机器人，所述第二处理室组是在与第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的。移动式缓冲器能够与第一机器人以及第二机器人进行基板的交接，在第一机器人与第二机器人之间沿着在处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动。

主权项：1.一种搬运装置，其特征在于，所述搬运装置具有：第一机器人，其固定于搬运室的室内，是相对于第一处理室组搬运基板的机器人，所述第一处理室组是在所述搬运室的第一侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；第二机器人，其固定于所述搬运室的室内，是相对于第二处理室组搬运所述基板的机器人，所述第二处理室组是在与所述第一侧壁对置的第二侧壁沿水平方向排列多个处理室而成的；以及移动式缓冲器，其能够与所述第一机器人和所述第二机器人交接所述基板，在所述第一机器人和所述第二机器人之间沿着在所述处理室的排列方向上延伸的轨道进行移动，所述第一机器人以及所述第二机器人包含在铅垂方向上具有1个自由度、在水平方向上具有3个自由度以上的4自由度以上机器人，所述第一机器人设置有比所述第一处理室组中的所述处理室的数量少的个数，在多个所述处理室与所述移动式缓冲器之间交接所述基板，所述第二机器人设置有比所述第二处理室组中的所述处理室的数量少的个数，在多个所述处理室与所述移动式缓冲器之间交接所述基板。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社安川电机 搬运装置、搬运方法以及搬运系统

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