申请/专利权人：易安爱富(武汉)科技有限公司

申请日：2024-01-31

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117888108A

主分类号：C23F1/20

分类号：C23F1/20;C23F1/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明涉及蚀刻液技术领域，提出了一种钼铝蚀刻液及其制备方法，所述蚀刻液的原料包括磷酸、硝酸、同时含有羟基和羧基的弱酸、羟肟酸和去离子水。本发明蚀刻液不含氯酸和高氯酸，蚀刻液稳定，不会出现加热分解，损害人体健康的问题。磷酸、硝酸将钼和铝氧化成钼离子和铝离子，羟肟酸与金属离子钼、铝螯合，形成配合物，配合物在同时含有羟基和羧基的弱酸的作用下形成一层保护性的覆盖层，阻止钼离子、铝离子再吸附到基板上，确保蚀刻角度的均一性。

主权项：1.一种钼铝蚀刻液，其特征在于：所述蚀刻液的原料包括磷酸、硝酸、同时含有羟基和羧基的弱酸、羟肟酸和去离子水。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 易安爱富(武汉)科技有限公司 一种钼铝蚀刻液及其制备方法

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