申请/专利权人：广东省智能机器人研究院

申请日：2022-03-23

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN114657536B

主分类号：C23C16/40

分类号：C23C16/40;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/52;F16F15/067;B03C3/017

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.16#授权;2022.07.12#实质审查的生效;2022.06.24#公开

摘要：本发明公开了一种ZnO薄膜生长用的MOCVD设备，其包括反应室、气体运输系统、控制系统、反应加工系统及减振平衡系统，所述反应加工系统包括喷枪装置、旋转组件、放置平台及升降机构，所述反应室设有温度变色胶贴，所述减振平衡系统包括减振组件及平衡组件。本发明通过设置温度变色胶贴用于将温度变化直观的反馈的操作人员，便于快速知晓MOCVD设备的温度情况及时调整温度；通过设置升降机构用于快速调整平台一的高度，使得MOCVD设备可根据需求用于不同厚度的衬底物料的放置及加工，可生产出不同厚度需求的ZnO薄膜，提高适用性；通过设置减振平衡系统用于提供减振功能及水平校正功能，提高喷涂的平衡及均匀性，提高产品质量。

主权项：1.一种ZnO薄膜生长用的MOCVD设备，其包括MOCVD设备本体，其特征在于：所述MOCVD设备本体包括反应室、气体运输系统、控制系统、反应加工系统、减振平衡系统及过滤组件，所述气体运输系统设置在所述反应室的上方，所述减振平衡系统设置在所述反应室的下方，所述反应室设有反应仓，所述反应加工系统设置在所述反应仓内，所述反应加工系统包括喷枪装置、旋转组件、放置平台及升降机构，所述放置平台设置在所述旋转组件上，所述升降机构设置在所述放置平台上，所述升降机构设有平台一，所述平台一设有加热片及托盘，所述托盘设置在所述加热片的上方，所述平台一与所述托盘之间设有卡扣连接结构，所述反应室还设有备用驱动组件，所述控制系统与所述气体运输系统、反应加工系统、减振平衡系统及备用驱动组件之间均设有导线构成电性连接，所述反应室的外侧还设有温度变色胶贴；所述过滤组件包括过滤网及静电吸附器；所述减振平衡系统包括减振组件及平衡组件，所述减振组件包括多个减振器；所述平衡组件均包括水平检测传感器、驱动器及多个伺服升降电动缸；所述反应室的左右两侧壁均设有插入口，所述插入口均设有多个扣勾。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东省智能机器人研究院 一种ZnO薄膜生长用的MOCVD设备

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