申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

申请日：2024-01-10

公开（公告）日：2024-04-19

公开（公告）号：CN117906527A

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.07#实质审查的生效;2024.04.19#公开

摘要：本发明涉及环形镜检测领域，尤其涉及一种大口径环形镜多参量共基准子孔径检测方法包括轮廓检测和面形检测，轮廓检测包括：对大口径环形镜进行子孔径规划；根据规划的子孔径路径旋转大口径环形镜；开启光源，发出的检测光束经光栅折转后入射至大口径环形镜的待测点；经待测点反射携带大口径环形镜表面信息的检测光束经汇聚透镜汇聚及微透镜阵列的分束后被成像模块接收；通过成像模块计算大口径环形镜的待测点的斜率，以得到大口径环形镜的轮廓信息；面形检测包括：将微透镜阵列从光路中撤出，通过成像模块计算大口径环形镜的待测点的干涉条纹，以得到大口径环形镜的面形信息。本发明只需一套设备，无需进行设备切换，不存在装调误差，省时省力。

主权项：1.一种大口径环形镜多参量共基准子孔径检测方法，利用检测设备实现，检测设备包括光源、光栅、汇聚透镜、微透镜阵列和成像模块；光源设置在大口径环形镜的光轴上，用于发出检测光束；光栅设置在光源的一侧，用于调整检测光束的方向；汇聚透镜设置在大口径环形镜的反射方向上，用于对大口径环形镜反射的检测光束进行汇聚；微透镜阵列设置在汇聚透镜的透射方向上，用于将检测光束分为多路子检测光束；成像模块用于接收多路子检测光束，对大口径环形镜的面形和轮廓进行检测；该检测方法包括轮廓检测和面形检测；其中，轮廓检测包括如下步骤：第一步：对大口径环形镜进行子孔径规划；第二步：根据规划的子孔径路径旋转大口径环形镜；第三步：开启光源，发出的检测光束经光栅折转后入射至大口径环形镜的待测点；第四步：经待测点反射携带大口径环形镜表面信息的检测光束经汇聚透镜汇聚及微透镜阵列的分束后被成像模块接收；第五步：通过成像模块计算大口径环形镜的待测点的斜率，以得到大口径环形镜的轮廓信息；面形检测包括如下步骤：第一步：对大口径环形镜进行子孔径规划；第二步：根据规划的子孔径路径旋转大口径环形镜；第三步：将微透镜阵列从光路中撤出，光源发出的检测光束经光栅折转后入射至大口径环形镜的待测点；第四步：经待测点反射携带大口径环形镜表面信息的检测光束经汇聚透镜汇聚后被成像模块接收；第五步：通过成像模块计算大口径环形镜的待测点的干涉条纹，以得到大口径环形镜的面形信息。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 大口径环形镜多参量共基准子孔径检测方法

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