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五金工具产品及配附件制造技术
  • 一种利用磁控共溅射工艺在聚酰亚胺表面制备非晶合金防护薄膜的方法
    一种利用磁控共溅射工艺在聚酰亚胺表面制备非晶合金防护薄膜的方法_哈尔滨工业大学_202311031708.9
    一种利用磁控共溅射工艺在聚酰亚胺表面沉积制备非晶合金防护薄膜的方法，涉及一种非晶合金防护薄膜的制备方法。旨在解决现有的聚酰亚胺薄膜的空间环境耐受能力差的问题。方法：聚酰亚胺薄膜基底的处理，进行离子预溅射，在磁控溅射真空室中进行非晶合金防护薄...
    2025-06-27
  • 化学气相沉积设备
    化学气相沉积设备_乐金显示光电科技(中国)有限公司_202422234001.4
    本实用新型涉及一种化学气相沉积设备，包括壳体、上电极、下电极和集气罩。壳体内形成有沉积腔室，上电极设置于沉积腔室的顶部，下电极可升降设置于沉积腔室的底部。集气罩的一端与上电极的周部连接，另一端与下电极的周部选择性连接，并使上电极、下电极和集...
    2025-06-27
  • 一种穿腔块结构及应用其的薄膜沉积设备
    一种穿腔块结构及应用其的薄膜沉积设备_拓荆科技(上海)有限公司_202510370689.5
    本发明公开了一种穿腔块结构及应用其的薄膜沉积设备，穿腔块结构包括第一穿腔块、第二穿腔块以及通气组件，第一穿腔块和第二穿腔块上下设置，通气组件具有至少两个，且至少两个通气组件能够替换地设置于第一穿腔块和第二穿腔块之间；其中每个通气组件上具有不...
    2025-06-27
  • 一种便于在线维护的膜厚监控设备
    一种便于在线维护的膜厚监控设备_苏州凯瑞纳米科技有限公司_202421951083.8
    本实用新型公开了一种便于在线维护的膜厚监控设备。便于在线维护的膜厚监控设备，包括：固定盘，所述固定盘上端转动设有齿盘，所述齿盘上设有若干通孔，通孔内设有防护镜，所述固定盘一侧固定设有安装座，所述安装座上设有电机，所述电机上端设有齿轮，所述齿...
    2025-06-27
  • 一种应用于ALD设备的腔体抽气孔滤网
    一种应用于ALD设备的腔体抽气孔滤网_北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司_202510299608.7
    本发明公开一种应用于ALD设备的腔体抽气孔滤网，涉及原子层沉积技术领域，以解决现有原子层沉积用滤网容易堵塞且过滤效果差的问题。包括设置在抽气管道内的多层滤网，沿远离抽气管道入口方向，多层滤网的网孔尺寸逐渐减小；反应腔体的气流经过多层滤网实现...
    2025-06-27
  • 一种溅射沉积组件、沉积室、真空沉积设备
    一种溅射沉积组件、沉积室、真空沉积设备_上海治臻新能源股份有限公司_202211490804.5
    本申请涉及溅射沉积组件、沉积室、真空沉积设备，溅射沉积组件包括：屏蔽罩；溅射阴极，所述溅射阴极位于所述屏蔽罩内，所述溅射阴极包括靶材和磁体组；电极板组，所述电极板组位于所述屏蔽罩内，所述电极板组包括位于所述溅射沉积组件的等离子体两侧的两个电...
    2025-06-27
  • 一种温度控制方法、装置、电子设备及存储介质
    一种温度控制方法、装置、电子设备及存储介质_北京北方华创微电子装备有限公司_202311865090.6
    本申请公开了一种温度控制方法、电子设备及半导体工艺设备，属于半导体技术领域。所述方法包括：获取当前温度设定值；根据所述当前温度设定值对各个所述温度控制区进行控温，对达到所述当前温度设定值的所述温度控制区进行保温，直至全部所述温度控制区的温度...
    2025-06-27
  • 一种基于传感控制的光学镀膜机无尘进气装置
    一种基于传感控制的光学镀膜机无尘进气装置_湖南天氟新材料有限公司_202422268057.1
    本实用新型提供了一种基于传感控制的光学镀膜机无尘进气装置，包括镀膜机本体、气体除杂模块、气体去湿模块和气体调节模块；所述气体除杂模块的出气端依次与气体去湿模块、气体调节模块和镀膜机本体的进气端连接；其中，气体除尘模块包括进气管道、水箱、搅拌...
    2025-06-27
  • 一种微波等离子体化学气相沉积组合腔室
    一种微波等离子体化学气相沉积组合腔室_杭州晶驰机电科技有限公司_202421990963.6
    本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积组合腔室，它属于微波等离子体化学气相沉积领域。本实用新型包括组合腔室、顶部法兰安装面和底部密封法兰安装面，组合腔室包括天线腔室、反应腔室、传输腔室和抽气腔室，组合腔室上方设置顶部法兰安装面，组合腔室...
    2025-06-27
  • 一种表面梯度钽的钛基牙种植体的制备方法及其产品
    一种表面梯度钽的钛基牙种植体的制备方法及其产品_沈阳市口腔医院_202510486687.2
    本发明属于钛基牙种植体制备技术领域，提供了一种表面梯度钽的钛基牙种植体的制备方法及其产品，具体包括以下步骤：S1，将钛基牙种植体装入工作室，并在工作室内放置钽靶材；S2，对工作室进行抽真空操作，随后打开加热器，将温度加热至预设温度值；S3，...
    2025-06-27
  • 一种方便轴承组件制备涂层的辅助装置
    一种方便轴承组件制备涂层的辅助装置_河南科技大学_202422127483.3
    本实用新型公开一种方便轴承组件制备涂层的辅助装置，属于轴承镀膜辅助装置技术领域，包含样品架和连接架组件，所述样品架设置在镀膜试验机上，所述轴承组件包括轴承内圈和轴承外圈，所述连接架组件包括内圈连接架和外圈连接架，其中，内圈连接架一面连接在样...
    2025-06-27
  • 一种具备多重防护功能的高精度CVD反应器
    一种具备多重防护功能的高精度CVD反应器_苏州耀德半导体有限公司_202422078904.8
    本实用新型公开了一种具备多重防护功能的高精度CVD反应器，涉及化学反应控制技术领域。本实用新型包括反应罐，以及与反应罐适配安装的控制组件，所述反应罐包括罐体、固定于罐体周侧下部的支座、密封连接于罐体端部的罐盖、设置于罐体内部的内胆，以及穿设...
    2025-06-27
  • 一种原子层沉积设备
    一种原子层沉积设备_北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司_202510301010.7
    本发明公开一种原子层沉积设备，涉及半导体技术领域，以解决现有原子层沉积设备中，气相前驱体在反应腔体中的均匀性不足而导致的基片沉积均匀性差的问题。原子层沉积设备包括腔体主体、第一管道、多个导流管和基座；其中，腔体主体的顶部设有通孔，第一管道贯...
    2025-06-27
  • 一种便于定位的铜包钢线镀锡机构
    一种便于定位的铜包钢线镀锡机构_常州科莱德电线电缆有限公司_202422137319.0
    本实用新型涉及镀锡机构领域，尤其涉及一种便于定位的铜包钢线镀锡机构，工作台的顶部向下开设有镀锡池，工作台上位于镀锡池的两侧分别通过安装座设置有放线辊和收线辊，并且镀锡池内转动安装有多个第一导向辊；第一导向辊的两端均活动设置有定位件，每侧定位...
    2025-06-27
  • 一种喷淋板结构及喷淋设备
    一种喷淋板结构及喷淋设备_拓荆科技(上海)有限公司_202422259046.7
    本实用新型公开了一种喷淋板结构及喷淋设备，喷淋板结构包括喷淋板本体和设置在喷淋板本体上的气体通道，气体通道包括内圈气体通道和围绕内圈气体通道设置的外圈气体通道；内圈气体通道包括相嵌的第一内螺旋槽和第二内螺旋槽，第一内螺旋槽和第二内螺旋槽分别...
    2025-06-27
  • 燃气轮机空心叶片预热及带有纵向裂纹涂层制备的方法
    燃气轮机空心叶片预热及带有纵向裂纹涂层制备的方法_西安交通大学_202510352328.8
    本发明公开了一种燃气轮机空心叶片预热及带有纵向裂纹涂层制备的方法，包括：一、搭建叶片预热及涂层制备装置；二、燃气轮机空心叶片表面的预热；三、燃气轮机空心叶片的喷涂。本发明方法步骤简单，采用空气加热器对旋转的燃气轮机空心叶片进行预热，以提高燃...
    2025-06-27
  • 一种易拆装与维护的PVD镀膜设备
    一种易拆装与维护的PVD镀膜设备_陛通半导体设备(苏州)有限公司_202510288053.6
    本发明提供一种易拆装与维护的PVD镀膜设备，包括镀膜腔体、溅射组件，以及位于镀膜腔体内的基座、转接腔、护罩、沉积环及盖环；基座位于溅射组件的下方，沉积环环设在基座的周向；护罩与镀膜腔体内壁连接，且自溅射组件的外围向下延伸到沉积环的上方；转接...
    2025-06-27
  • 一种用于小尺寸柱体元件全口径镀膜的工装夹具
    一种用于小尺寸柱体元件全口径镀膜的工装夹具_杭州光学精密机械研究所_202510491217.5
    一种小尺寸柱体元件全口径镀膜工装夹具，包括金属框架和弹簧固定结构，所述金属框架内表面均固定有聚四氟乙烯板，可用于保护柱体元件侧面在挤压状态时不被划伤。所述弹簧固定结构包括弹簧、两块金属平板，其中一块金属平板内表面固定有聚四氟乙烯板，两块金属...
    2025-06-27
  • 一种镀膜辊及卷绕装置
    一种镀膜辊及卷绕装置_广东汇成真空科技股份有限公司_202422259045.2
    本实用新型涉及磁控溅射领域，尤指一种镀膜辊及卷绕装置，卷绕装置包含有镀膜辊和水冷板，水冷板具有与镀膜辊外周面相适配的弧度，水冷板被固定在真空室内，与镀膜辊两端的周沿相邻，水冷板内设有流道；镀膜辊，包含有内筒体、外筒体、辊轴，外筒体套在内筒体...
    2025-06-27
  • 一种连续镀膜装置及方法
    一种连续镀膜装置及方法_浙江晟霖益嘉科技有限公司_202510449800.X
    本发明公开了连续镀膜装置，包括：至少一个第一镀膜腔，第一镀膜腔的底部设置有材料源，第一镀膜腔包括第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁上设置有第一入口，第二侧壁上设置有第一出口；原子层沉积腔，包括设置在原子层沉积腔的底部的喷淋模块，喷淋模块包括出气面...
    2025-06-27
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