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微观装置的制造及其处理技术
  • 本申请涉及真空封装领域,公开了一种真空封装结构体及其封装方法,包括:基板、第一封装帽层、第二封装帽层、MEMS结构和密封层,第一封装帽层设有第一开孔,第二封装帽层设有第二开孔;第二开孔的尺寸小于第一开孔的尺寸;第一封装帽层与基板连接,并与基...
  • 本发明公开了MEMS集成封装结构及其制备方法,MEMS集成封装结构包括树脂基板,所述树脂基板上倒装设置有MEMS芯片,MEMS芯片与所述树脂基板之间具有焊球高度的间隔且焊球通过引脚引至所述树脂基板的外表面,MEMS芯片外部包覆有一层真空成腔...
  • 一种微机电流体装置模块,包含一封装载体、多个微机电流体装置芯片以及多个导线。封装载体是一长方体态样,具有一载体长边以及一载体短边,并包含多个载体电极。微机电流体装置芯片设置于封装载体上。每一微机电流体装置芯片是一长方体态样,具有一芯片长边以...
  • 本发明涉及一种具有预埋腔的基板及其制备方法。所述具有预埋腔的基板的制备方法包括如下步骤:形成支撑衬底,所述支撑衬底内具有空腔,所述支撑衬底包括沿第一方向相对分布的顶面和底面,所述空腔自所述支撑衬底的顶面向所述支撑衬底的内部延伸;形成顶部结构...
  • 本发明提供一种多级驱动的MEMS静电驱动器,结构包括:衬底、载荷、逐级串联的若干个一维静电驱动结构、锚点、导线及绝缘介质;每一级的一维静电驱动结构均包括外框架、至少一个静电驱动单元、及至少一个弹性梁;载荷与第一级的外框架连接;除最后一级的外...
  • 本实用新型公开了一种液体容器,涉及容器技术领域,包括容器本体和把手,所述液体容器还包括至少一个连接板;所述把手的至少一个连接端面上形成有安装槽,至少一个所述安装槽与至少一个所述连接板互相对应,所述把手的连接端面与所述容器本体的侧壁固定连接,...
  • 本发明公开了一种前舱盖锁和车辆,前舱盖锁包括安装板锁舌、锁止臂、吸合推臂、吸合臂,锁舌、锁止臂和吸合推臂可枢转地安装于安装板,吸合臂可枢转地安装于吸合推臂,吸合推臂转动时驱动吸合臂运动,吸合臂运动时能够推动锁舌转动至与锁止臂锁止配合,在锁止...
  • 本申请属于肉制品保鲜技术领域,尤其涉及一种肉类食品保鲜运输装置,包括:箱体,其内部设置有承载板和支撑板,箱体还连接有箱门;压紧板,设置于箱体内,箱体内设置有与压紧板配合的滑槽,压紧板能够沿着滑槽上下移动;调节机构,设置于压紧板上并与滑槽配合...
  • 一种瓦楞纸板储存用防潮装置,瓦楞纸板储存用装置技术领域,包括:箱体总成、排气单元、放置装置及检测装置,所述箱体总成下端固定连通有排气单元,所述箱体总成内部固定有放置装置,所述箱体总成顶部固定连通有检测装置。可以解决背景技术中提出的:现有的瓦...
  • 本实用新型提供了一种自热装置以及自热碗,涉及自加热技术领域。包括上壳体以及与所述上壳体可转动连接的下壳体,所述下壳体设有用以放置加热包的加热腔,所述上壳体设有储液腔,所述储液腔朝向所述下壳体的端面上至少设置有一个出液口,其中,所述出液口经由...
  • 本发明公开了一种硅基MEMS气体传感器芯片的制备方法及应用,包括:S1、在硅晶圆基片上表面沉积绝缘材料,得到悬臂支撑层;S2、在悬臂支撑层表面晶圆级沉积金属形成加热电极;S3、在加热电极表面晶圆级沉积绝缘层;S4、在绝缘层表面晶圆级制备腐蚀...
  • 本实用新型涉及汽车配件技术领域,具体涉及一种平推式隐藏式把手,包括底座、把手组件、传动组件和连接组件;把手组件包括把手本体、把手盖和按钮开关,把手本体与底座转动连接,并位于底座的内部,把手盖与把手本体连接,并位于把手本体的外侧,按钮开关与把...
  • 本实用新型公开了一种可分类存放的CT影像片保存装置,包括支架,包括支座、对称分布在支座端部位置的立板、安装在对立的立板顶端之间位置的限位盖板,所述支座的内表面设有压缩弹簧;连接座,包括与压缩弹簧顶端连接的底座、安装在底座对立表面之间的固定轴...
  • 本实用新型公开了一种海洋益生菌转化食用菌低温储运盒,涉及低温储运盒技术领域,包括储运盒本体、合页和翻盖,所述储运盒本体的一侧通过合页与翻盖旋转连接,所述储运盒本体的两侧对称焊接有挂耳,所述储运盒本体内部插接有第一保温泡沫;所述储运盒本体内部...
  • 本实用新型提供了一种新型气泡袋,包括:塑料袋体;气泡囊,气泡囊的数量为多个,且均匀分布在塑料袋体的内外两侧;第一带色封条,第一带色封条沿塑料袋体的宽度方向延伸,且数量为多个,多个第一带色封条沿塑料袋体的高度方向均分布,第一带色封条包括互相匹...
  • 本发明公开一种基于悬臂梁‑中心双质量块结构的SOI高温MEMS压阻式压力传感器的制备方法,属于MEMS领域。本发明在传统的MEMS压阻式压力传感器的膜片结构设计基础上,巧妙结合悬臂梁‑中心双质量块结构,在悬臂梁的正反面分别设计了对称的中心质...
  • 本案涉及一种便捷省力挤压式干湿分离面膜袋,包括精华液腔及膜片腔,所述精华液腔及膜片腔的外周设有周密封,所述精华液腔和所述膜片腔之间设有分割所述精华液腔和所述膜片腔的至少一个可中空密封圈及至少一端与所述可中空密封圈相接的易揭封边,使得精华液腔...
  • 本发明提供一种硅‑玻璃结构传感器的制备工艺,包括以下步骤SOI硅片氧化、在薄硅层上刻蚀感应腔、制作深刻蚀区域与电极区域、阳极键合、深硅刻蚀、制备封装结构、键合结构底部设置盲孔、去除氧化层、封装;本发明还提供一种硅‑玻璃结构的传感器,一种硅‑...
  • 本发明涉及食品保鲜技术领域,特别是涉及一种气调保鲜袋及其在生鲜板栗仁常温运输中的应用。本发明通过透气膜可以减缓生鲜板栗仁有氧呼吸速度同时避免无氧呼吸;气调保鲜包装阻止水分散失,保持生鲜板栗仁的新鲜度同时降低霉变率;另外,本发明利用充气腔的气...
  • 本实用新型提供一种自动磨抛机抛光盘的收纳装置,包括箱体、多个隔板、多根空气管道、收纳架、抛光盘和磁铁块,多个隔板安装在箱体内部,将箱体内部分成多个单元格;每个单元格内放置一个收纳架,收纳架与箱体抽拉连接;收纳架两侧均设置磁铁块,抛光盘与磁铁...
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