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五金工具产品及配附件制造技术
一种进气组件及薄膜沉积装置
本实用新型提供了一种进气组件及薄膜沉积装置,所述进气组件包括:上盖板,其中心设置有第一进气通道;至少四个第二进气通道,其环绕所述第一进气通道设置在所述上盖板的每个角落;气体喷淋板,其设置在所述上盖板的下方,所述气体喷淋板和上盖板之间形成匀气...
一种真空镀膜夹具
本实用新型公开了一种真空镀膜夹具,包括管体,管体的外周面用于固定若干圈沿管体的轴线分布的基片,管体包括中心管部、两个位于中心管部的两端且直径逐渐增大的第一渐宽管部,第一渐宽管部的小径端与中心管部的端部连接,第一渐宽管部的大径端向远离中心管部...
光学薄膜厚度监测装置及光学薄膜镀膜系统
本发明公开一种光学薄膜厚度监测装置及光学薄膜镀膜系统,属于真空镀膜技术领域。光学薄膜厚度监测装置的工件盘上开设监测孔组,监测孔组包括通孔一、通孔二以及间隔遮挡区,通孔一内设置镀膜监控片;照射光源用于向监测孔组发射光信号;接收组件包括光汇聚元...
一种镀膜设备
本申请公开了一种镀膜设备,包括涂层腔室,所述涂层腔室内设有涂层区,所述涂层腔室设置为a个,所述涂层区设置为a*N个,其中a为2‑4的自然数,N为2‑4的自然数。本申请镀膜设备,可以根据需要进行多靶材镀膜。
一种光学镀膜机控制方法、光学镀膜机控制系统及光学镀膜系统
本申请公开了一种光学镀膜机控制方法、光学镀膜机控制系统及光学镀膜系统,涉及光学镀膜领域,该方法包括:在镀膜过程中,控制承载部件进行匀速旋转,并实时探测参考光及信号光;监控片及参考孔位于承载部件上的不同位置;监控光经参考孔后形成参考光,监控光...
一种不破坏真空可实现电子束蒸发设备坩埚补料的方法
本发明公开了一种不破坏真空可实现电子束蒸发设备坩埚补料的方法,涉及超导量子计算技术领域,本发明的不破坏真空可实现电子束蒸发设备坩埚补料的方法,显著提升了生产效率,传统的电子束蒸发设备在坩埚原料耗尽需要补料时,往往要破坏镀膜腔的真空环境,随后...
一种板式PECVD分气板
本申请提供了一种板式PECVD分气板,用于光伏技术领域,具体为一种板式PECVD分气板,包括分气板本体;进气口,设置在分气板本体上表面;出气孔,均匀分布在分气板本体的下表面;每个出气孔与进气口之间均存在一条气流通道,且每个出气孔与进气口之间...
一种二氧化硅低温沉积用控温装置
本实用新型公开了一种二氧化硅低温沉积用控温装置,属于二氧化硅沉积技术领域,一种二氧化硅低温沉积用控温装置,包括底板和热板,所述底板与热板之间设有基板,所述基板与底板之间固定有多个导向柱,所述基板与底板之间还设有活动板,所述基板的顶面开设有多...
一种PVD真空镀膜机的靶材挡板装置
本实用新型涉及一种PVD真空镀膜机的靶材挡板装置,包括固定挡板、摆动气缸、移动挡板、旋转轴和滑槽底座;靶材架中央设置靶材,靶材两边对称设置固定挡板、移动挡板和滑槽底座,移动挡板滑动设置在固定挡板外侧,移动挡板下端与滑槽底座滑动连接,移动挡板...
一种用于循环流化床锅炉水冷壁超耐磨复合涂层及其制备方法
本发明属于一种循环流化床水冷壁高温超耐磨复合涂层领域,具体涉及一种循环流化床水冷壁超耐磨复合涂层及其制备方法。该复合涂层包括镍铬钛合金涂层和纳米陶瓷涂层;所述镍铬钛合金涂层为电弧喷涂45CT丝材;粒子喷涂速度:>386m/s,电弧电压:32...
一种40Cr钢表面磁控溅射铝-离子渗氮复合处理方法
本发明涉及金属表面处理技术领域,特别涉及一种40Cr钢表面磁控溅射铝‑离子渗氮复合处理方法。该方法,首先将40Cr钢置入磁控溅射炉中进行磁控溅射处理,通过磁控溅射处理在40Cr钢表面形成保护膜层;然后,将磁控溅射处理后的40Cr钢悬挂于离子...
一种食品级金属表面发黑液及发黑工艺和应用
本发明公开了一种食品级金属表面发黑液及发黑工艺和应用,所述发黑液包括基础发黑组分和改性石墨烯溶液;其中,所述基础发黑液包括焦磷酸钠15‑25g/L、钼酸钠8‑12g/L、葡萄酸钠20‑30g/L、异抗坏血酸钠2‑5g/L、柠檬酸/柠檬酸钠缓...
AF蒸发镀膜装置和方法
本申请涉及一种AF蒸发镀膜装置和方法。本申请所述的AF蒸发镀膜装置,包括药液罐、蒸发机构和传输机构,药液罐设有密封腔,密封腔用于盛装AF药液。蒸发机构包括蒸发源、加热器和称重器,加热器设置于蒸发源,蒸发源安装于称重器。传输机构包括出液管路、...
一种真空镀膜用侧引弧机构
本实用新型属于真空镀膜引弧技术领域,具体涉及一种真空镀膜用侧引弧机构,其中包括基座和靶材,所述基座的外部套接有转动盘,所述转动盘的右端固定安装有端盖;所述转动盘的左侧固定安装有旋转盘,且旋转盘套接于基座的外侧,所述基座的一侧固定安装有旋转气...
一种金刚石生长钼环
本发明涉及气相沉积领域,公开了一种金刚石生长钼环,其技术方案要点是包括一种金刚石生长钼环,包括钼环本体,所述钼环本体上形成有通孔,所述通孔用于外接不同尺寸的金刚石衬底使得金刚石衬底的四条侧棱能够与通孔的内壁相接触,所述通孔为两个相同椭圆正交...
一种用于等离子喷涂的Y
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O
3
悬浮液、制备方法及应用
本发明涉及喷涂技术领域,尤其涉及一种用于等离子喷涂的Y
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悬浮液、制备方法及应用,该用于等离子喷涂的Y
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O
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悬浮液,包括以下质量比原料:8‑20%溶剂...
一种沉积腔室结构及MPCVD设备
一种沉积腔室结构及MPCVD设备,属于金刚石合成设备领域。技术方案为:一种沉积腔室结构,包括底座,底座上固定设有管状的石英窗口,石英窗口上方密封连接有上盖,石英窗口的外侧套设有金属环,金属环的中间区域设有若干横向设置和竖向设置的微波馈入缝隙...
一种侧面设置氧化源及挡气机构的真空镀膜设备
本申请公开一种侧面设置氧化源及挡气机构的真空镀膜设备,包括:设有真空腔体的反应容器;转动设置在真空腔体内的转鼓;设于真空腔体底部的导轨,转鼓能在导轨上沿第一水平方向移动;在第二水平方向上设置在反应容器一侧的氧化源,氧化源的出气口位于真空腔体...
在线监测光学薄膜厚度的方法、装置及镀膜系统
本发明提出的在线监测光学薄膜厚度的方法、装置及镀膜系统,属于光学薄膜厚度监测领域,适用于光通信GFF等高难度滤光片。通过向光学基片的膜厚度监测区域发射不同波长的光信号,并获取不同波长光信号对应的光学厚度,可提高光学基片上所镀光学薄膜的厚度监...
一种橡胶表面超低摩擦碳基多层复合涂层及其构筑方法
本发明公开了一种橡胶表面超低摩擦碳基多层复合涂层,是通过磁控溅射技术依次在橡胶基底表面沉积碳薄膜和金属层,然后利用电化学法在金属层表面交替沉积MXene基及其他二维材料多层涂层,最后经过浸油处理而得。获得的碳基多层复合涂层最表层为疏松二维材...
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