申请/专利权人：周星工程股份有限公司

申请日：2018-07-18

公开（公告）日：2020-03-24

公开（公告）号：CN110914970A

主分类号：H01L21/67(20060101)

分类号：H01L21/67(20060101);H01L21/02(20060101);H01J37/32(20060101)

优先权：["20170728 KR 10-2017-0096375","20170811 KR 10-2017-0102535","20180716 KR 10-2018-0082066"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.10.10#授权;2020.07.24#实质审查的生效;2020.03.24#公开

摘要：本发明涉及基板处理设备的气体分配设备、基板处理设备以及基板处理方法。该气体分配设备包括：第一气体分配模块，所述第一气体分配模块用于将处理气体分配到第一气体分配空间；以及第二气体分配模块，所述第二气体分配模块用于将处理气体分配到与所述第一气体分配空间不同的第二气体分配空间。

主权项：1.一种基板处理设备的气体分配设备，所述气体分配设备包括：第一气体分配模块，所述第一气体分配模块将第一气体分配到第一气体分配空间；第二气体分配模块，所述第二气体分配模块将处理气体分配到与所述第一气体分配空间不同的第二气体分配空间；以及第三气体分配模块，所述第三气体分配模块将第二气体分配到与所述第一气体分配空间和所述第二气体分配空间中的每一者不同的第三气体分配空间，其中，当所述第一气体分配模块分配所述第一气体时，所述第二气体分配模块将所述第一气体分配到所述第二气体分配空间，并且当所述第三气体分配模块分配所述第二气体时，所述第二气体分配模块将所述第二气体分配到所述第二气体分配空间。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 周星工程股份有限公司 基板处理设备的气体分配设备、基板处理设备及基板处理方法

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