申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2017-11-20

公开（公告）日：2020-07-03

公开（公告）号：CN111373503A

主分类号：H01J37/32(20060101)

分类号：H01J37/32(20060101);C23C14/50(20060101);C23C16/458(20060101);H01L21/687(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.04.28#授权;2020.07.28#实质审查的生效;2020.07.03#公开

摘要：描述了用于处理基板101的基板支撑件100。所述基板支撑件包括：支撑主体110；以及干粘合物120，所述干粘合物附接到所述支撑主体，所述干粘合物为所述基板提供保持布置，所述支撑主体被配置为使所述基板移动一角度而进入处理区域170。

主权项：1.一种用于处理基板的基板支撑件；包括：支撑主体；以及干粘合物，所述干粘合物附接到所述支撑主体，所述干粘合物为所述基板提供保持布置，所述支撑主体被配置为使所述基板移动一角度而进入处理区域。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 用于处理基板的基板支撑件、真空处理设备和基板处理系统

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