申请/专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司

申请日：2019-12-31

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN211047214U

主分类号：H04R19/00(20060101)

分类号：H04R19/00(20060101);H04R19/04(20060101);H04R31/00(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.17#授权

摘要：本实用新型公开了一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构，该防尘结构包括网格膜、第一载体和第二载体，所述第一载体具有贯通的第一开口，所述第二载体具有贯通的第二开口；所述第一载体和第二载体分别设置在所述网格膜的两侧，所述网格膜间隔于所述第一开口和第二开口之间；所述第一载体和或第二载体被配置为用于固定在MEMS器件上。本实用新型的所述第一载体和第二载体的设置对所述网格膜起到很好的支撑和保护作用，可以避免所述网格膜的直接接触损坏，而所述第一开口和第二开口与所述网格膜上的通孔相对设置，给空气提供了顺畅的通道，便于声音的传递。

主权项：1.一种用于MEMS器件的防尘结构，其特征在于，包括：网格膜，所述网格膜被配置为供声音透过；第一载体和第二载体，所述第一载体具有贯通的第一开口，所述第二载体具有贯通的第二开口；所述第一载体和第二载体分别设置在所述网格膜的两侧，所述网格膜间隔于所述第一开口和第二开口之间；所述第一载体和或第二载体被配置为用于固定在MEMS器件上。

全文数据：

权利要求：

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