申请/专利权人：浙江大学昆山创新中心

申请日：2019-11-29

公开（公告）日：2020-07-17

公开（公告）号：CN211045409U

主分类号：H01L21/687(20060101)

分类号：H01L21/687(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2020.07.17#授权

摘要：本实用新型公开了一种多功能晶圆夹具，属于芯片加工技术领域，包括转动连接的第一盒体和第二盒体，所述第一盒体与第二盒体内均设有存储腔和安装于所述存储腔内的一对晶圆夹钩，所述晶圆夹钩能够从所述存储腔中伸出，所述晶圆夹钩包括方向能够调节的钩体。本实用新型能够夹取竖直或水平放置的晶圆，便于存放不使用的晶圆夹钩，方便携带，功能多样。

主权项：1.一种多功能晶圆夹具，其特征在于，包括转动连接的第一盒体和第二盒体，所述第一盒体与第二盒体内均设有存储腔和安装于所述存储腔内的一对晶圆夹钩，所述晶圆夹钩能够从所述存储腔中伸出，所述晶圆夹钩包括方向能够调节的钩体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 浙江大学昆山创新中心 一种多功能晶圆夹具

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