申请/专利权人:天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
申请日:2020-06-10
公开(公告)日:2020-09-11
公开(公告)号:CN111647849A
主分类号:C23C14/06(20060101)
分类号:C23C14/06(20060101);C23C14/32(20060101)
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2022.04.19#授权;2020.10.13#实质审查的生效;2020.09.11#公开
摘要:本发明公开了一种高硬度AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层复合涂层及其制备,属于复合涂层制备技术领域。所述多层复合涂层是由AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层依次循环叠加而成,涂层调制周期为50‑800nm,周期数≥4。该多层复合涂层均为面心立方结构,没有硬度低的六方相生成。本发明制备出的涂层组织结构致密、涂层与基体间的结合力强与基材结合力大于95N,具有较高的硬度大于30GPa和强度,良好的耐磨损性能。
主权项:1.一种高硬度AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层复合涂层,其特征在于:该多层复合涂层沉积于304不锈钢片或硬质合金基体上,所述AlCrSiNAlCrNAlCrONAlCrN多层复合涂层是由AlCrSiN层、AlCrN层、AlCrON层和AlCrN层依次循环叠加而成,涂层调制周期为50-800nm,周期数≥4。
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