申请/专利权人：天津弘亚模具有限公司

申请日：2019-11-26

公开（公告）日：2020-10-23

公开（公告）号：CN211729188U

主分类号：B25J11/00(20060101)

分类号：B25J11/00(20060101);B25J9/00(20060101)

优先权：

专利状态码：失效-未缴年费专利权终止

法律状态：2022.11.04#未缴年费专利权终止;2020.10.23#授权

摘要：本实用新型公开了一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，包括底座，所述底座上端表面开设有容纳槽，所述容纳槽内部底端设置有支撑板，所述支撑板顶部固定设置有机体，所述底座外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓，所述螺栓的一端均通过螺纹孔位于机体内部。本实用新型在容纳槽内部是通过支撑板来进行支撑机体的，在需要将机体与底座进行分离时，工作人员只需拆卸下螺栓，然后使马达进行工作带动螺杆转动就能够使移动板进行移动来带动支撑板进行同步的移动，使得机体的底端能够逐渐移动出容纳槽，避免了工作人员需要使用过多的力气将机体移动出容纳槽的步骤，节省了人力，提高了用于安装本机器人的底座的使用便利性。

主权项：1.一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，包括底座1，其特征在于：所述底座1上端表面开设有容纳槽2，所述容纳槽2内部底端设置有支撑板3，所述支撑板3顶部固定设置有机体4，所述底座1外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓5，所述螺栓5的一端均通过螺纹孔位于机体4内部，所述机体4一侧设置有机器人处理器6，所述机体4与机器人处理器6电性连接，所述机体4顶部固定设置有支撑杆7，所述支撑杆7顶部通过转轴活动设置有第一连接杆8，所述第一连接杆8的一端顶部通过转轴活动设置有第二连接杆9，所述第二连接杆9的一端顶部固定设置有安装块10，所述安装块10一侧上下两端均开设有放置槽11，所述放置槽11内部一侧均固定设置有电动推杆12，所述电动推杆12的伸缩杆端处均设置有夹板13，所述夹板13远离电动推杆12的一端位于安装块10外部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津弘亚模具有限公司 一种衬底搬送机器人及衬底处理系统

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