申请/专利权人：阿自倍尔株式会社

申请日：2020-06-17

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN112179557A

主分类号：G01L7/08(20060101)

分类号：G01L7/08(20060101)

优先权：["20190702 JP 2019-123534"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2022.11.22#授权;2021.01.22#实质审查的生效;2021.01.05#公开

摘要：本发明的压力传感器减少沉积物对压力传感器的膜片的影响。本发明具备：可动电极104，其形成于膜片102的可动区域102a内；以及固定电极105，其以与可动电极104相对的方式形成。膜片102的受压面呈惰性状态。膜片102的呈惰性的受压面呈不易吸附上测定对象气体的分子的状态。能够通过规定的表面处理使膜片102的受压面成惰性。通过表面处理，形成使膜片102的受压面成惰性的层，该层的存在使得膜片102的受压面成惰性。

主权项：1.一种压力传感器，其特征在于，具备：膜片，其能够位移并以受压面承受测定对象气体的压力；以及测定部，其测定所述膜片的位移；所述膜片的所述受压面在化学上呈惰性状态。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 阿自倍尔株式会社 压力传感器

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