申请/专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司

申请日：2020-09-27

公开（公告）日：2021-01-05

公开（公告）号：CN111933564B

主分类号：H01L21/683(20060101)

分类号：H01L21/683(20060101);H01L21/677(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.01.05#授权;2020.12.01#实质审查的生效;2020.11.13#公开

摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，提供一种传送机械手，包括：基体、电源、静电发生装置和换向部件，基体包括用于支撑晶圆的支撑部；电源包括正极端和负极端；静电发生装置连接于电源，静电发生装置包括正电荷端头和电子端头，正电荷端头和电子端头均设于支撑部；换向部件设于电源与静电发生装置之间，换向部件处于第一状态，正电荷端头连接正极端，电子端头连接负极端；换向部件处于第二状态，正电荷端头连接负极端，电子端头连接正极端。本发明提出的传送机械手，利用库仑力对晶圆进行吸附，可实现多种规格的晶圆的传送，还可通过换向部件消除残余的库仑力，可降低生产成本并减小对晶圆的损伤。

主权项：1.一种传送机械手，其特征在于，包括：基体，包括用于支撑晶圆的支撑部，所述支撑部设有晶圆接触器，所述晶圆接触器凸出于所述支撑部的表面，所述晶圆接触器的底部设有压力传感器；电源，包括正极端和负极端；静电发生装置，连接于电源，包括正电荷端头和电子端头，所述正电荷端头和所述电子端头均设于所述支撑部；换向部件，设于所述电源与所述静电发生装置之间，所述换向部件处于第一状态，所述正电荷端头连接所述正极端，所述电子端头连接所述负极端；所述换向部件处于第二状态，所述正电荷端头连接所述负极端，所述电子端头连接所述正极端；以及中央处理器，所述电源和所述压力传感器均连接于所述中央处理器，所述中央处理器内存储有所述静电发生装置的输入电压与所述压力传感器的输出电压之间的关系模型，所述电源停止向所述静电发生装置供电，根据所述关系模型和所述压力传感器的输出电压，获得所述静电发生装置的输入电压，并切换所述换向部件的状态，使得所述电源向所述静电发生装置供给所述输入电压。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京京仪自动化装备技术有限公司 传送机械手

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD