申请/专利权人:三星显示有限公司
申请日:2020-04-22
公开(公告)日:2021-01-19
公开(公告)号:CN112242340A
主分类号:H01L21/687(20060101)
分类号:H01L21/687(20060101)
优先权:["20190717 KR 10-2019-0086470"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2022.06.28#实质审查的生效;2021.01.19#公开
摘要:本发明的一实施例的基板支撑装置包括:支撑框架,包括第一支撑部及第二支撑部,所述第二支撑部的至少一部分与所述第一支撑部相隔;销部件,用于支撑基板的下表面,并且包括与所述第一支撑部结合的多个第一支撑销及与所述第二支撑部结合的多个第二支撑销;以及驱动模块,沿所述基板的所述下表面的法线方向选择性地使所述第一支撑部及所述第二支撑部移动。因此,本发明在不更换设备的情况下能够应用到不同种类的基板上。
主权项:1.一种基板支撑装置,包括:支撑框架,包括第一支撑部及第二支撑部,所述第二支撑部的至少一部分与所述第一支撑部相隔;销部件,用于支撑基板的下表面,并且包括与所述第一支撑部结合的多个第一支撑销和与所述第二支撑部结合的多个第二支撑销;以及驱动模块,沿所述基板的所述下表面的法线方向选择性地使所述第一支撑部及所述第二支撑部移动。
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