申请/专利权人：清华大学

申请日：2020-06-18

公开（公告）日：2021-04-13

公开（公告）号：CN212965280U

主分类号：G01R31/28(20060101)

分类号：G01R31/28(20060101);G01R1/04(20060101)

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2021.04.13#授权

摘要：本实用新型公开了一种适用于芯片测试系统的测试平台，包括：承片台，其上设置待测芯片；至少一测试座，装设于所述承片台上；转接板，电性连接于所述测试座及测试电路；其中，所述待测芯片根据驱动信号进行动作后，所述测试座通过探针或键合线电性连接于所述待测芯片，所述测试电路通过所述转接板采集测量所述待测芯片的电性能参数。

主权项：1.一种适用于芯片测试系统的测试平台，其特征在于，包括：承片台，其上设置待测芯片；至少一测试座，装设于所述承片台上；转接板，电性连接于所述测试座及测试电路；其中，所述待测芯片根据驱动信号进行动作后，所述测试座通过探针或键合线电性连接于所述待测芯片，所述测试电路通过所述转接板采集测量所述待测芯片的电性能参数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 清华大学 适用于芯片测试系统的测试平台

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