申请/专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司

申请日：2022-08-30

公开（公告）日：2022-12-02

公开（公告）号：CN115424952A

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;H01L21/67;H01L21/68

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2022.12.20#实质审查的生效;2022.12.02#公开

摘要：本发明提出了一种具有比对基准点功能的WAT测试方法。具体的，测试仪在接收到探针所传递的待测晶圆上待测单元的基准点信息后，将待测单元的基准点信息与测试仪中已经预先输入的待测晶圆的参考基准点信息进行自动比对，若比对一致，则对待测晶圆的待测单元进行WAT测试。在本发明实施例中，若不一致，则启动所述测试仪中的报警装置，以发出报警信号，测试仪画面出现相关提示语句，以提示作业人员退出作业。此测试仪自动比对功能避免了人工比对过程中造成实际测试位置并非预设的位置、或者移动到了晶圆外、甚至误测定、扎到主芯片等情况的出现，提高比对的准确度和效率，降低了人为误差，减少了晶圆损耗，提高了晶圆允收测试系统WAT的检测效率和准确性。

主权项：1.一种晶圆测试系统，其特征在于，包括：测试仪；探针台，用于固定及移动探针卡的装置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海华虹宏力半导体制造有限公司 WAT系统自动比对基准点的功能

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