申请/专利权人:上海华力集成电路制造有限公司
申请日:2023-09-11
公开(公告)日:2023-12-15
公开(公告)号:CN117238787A
主分类号:H01L21/66
分类号:H01L21/66
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.01.02#实质审查的生效;2023.12.15#公开
摘要:本申请提供一种降低WAT误测的方法,包括:对晶圆实施WAT测试;判断测试结果是否符合参数规格,若否,则执行参数原点重测,重测得到的新数值覆盖重测前的数值,而后对批次中的下一晶圆实施WAT测试,若是,则不执行参数重测,直接对批次中的下一晶圆实施WAT测试。对出现问题的参数在WAT过程中实施参数原点重测并重新赋值,同一批次所有晶圆的WAT测试结束后,若SPC系统判断违反SPC规则,执行OCAP流程之前不需要对该批次晶圆实施WAT重测。
主权项:1.一种降低WAT误测的方法,其特征在于,所述方法包括:对晶圆实施WAT测试;判断测试结果是否符合参数规格,若否,则对不符合参数规格的参数执行原点重测,重测得到的新数值覆盖重测前的数值,而后对同一批次中的下一晶圆实施WAT测试,若是,则对同一批次中的下一晶圆实施WAT测试。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 上海华力集成电路制造有限公司 一种降低WAT误测的方法
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