申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司

申请日：2023-11-13

公开（公告）日：2024-01-26

公开（公告）号：CN117452115A

主分类号：G01R31/00

分类号：G01R31/00;G01R31/28;G01R31/327;G01R1/04;G01R1/02;G01R27/02;G01R27/26

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.02.13#实质审查的生效;2024.01.26#公开

摘要：本发明公开了一种开关矩阵装置以及WAT测试系统，适用于自动化测试领域。该装置将输入面板和开关模块封装为通道单元模块，在一个通道单元模块内实现输出晶圆的测试，无论是测试场景需要多输入接口还是多输出接口，均可以灵活配置多个通道单元模块，以满足不同的测试需求。在一个通道单元模块内可以实现至少一个输入面板和至少一个开关模块的多输入多输出的大多数测试场景，以提高配置灵活性。可以实现一个输入面板和一个开关模块简单的测试场景、多输入接口的测试场景、多输出接口的测试场景和多输入多输出的测试场景，提高适用性。无论何种场景，均能避免开关矩阵的接口闲置，降低成本的浪费。

主权项：1.一种开关矩阵装置，其特征在于，包括至少一个通道单元模块，其中，所述通道单元模块包括至少一个输入面板1和至少一个开关模块2；当前通道单元模块内的至少一个所述输入面板1的各输出接口对应连接至少一个所述开关模块2的各开关的第一端；至少一个所述开关模块2的各所述开关的第二端分别连接晶圆以用于对目标晶圆进行测试。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 一种开关矩阵装置以及WAT测试系统

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