申请/专利权人：韶山汇达新材料有限公司

申请日：2023-05-08

公开（公告）日：2023-12-01

公开（公告）号：CN116590689B

主分类号：C23C16/32

分类号：C23C16/32;C23C16/04;C23C16/448

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2023.12.01#授权;2023.09.01#实质审查的生效;2023.08.15#公开

摘要：本发明公开了一种细长金属管内孔中SiC‑ZrC复合涂层的制备方法，属于涂层制备技术领域。本发明以硅粉和二氧化硅粉为蒸镀粉料，与CH4或C3H6经原位反应制备内涂层；再以锆粉、氯化钾和氯化锂为蒸镀粉料，与CH4或C3H6经原位反应制备外涂层，形成SiC‑ZrC复合涂层。相较于传统真空蒸镀方法，本发明方法无需高的真空环境，同时降低了生成涂层的反应温度，极大地降低了设备要求。本发明工艺简单，设备要求较低，可快速、高效的制备高性能、耐高温、耐辐照的SiC‑ZrC复合涂层。

主权项：1.一种细长金属管内孔中SiC-ZrC复合涂层的制备方法，其特征在于，以硅粉和二氧化硅粉为蒸镀粉料，与CH4或C3H6经原位反应制备内涂层；再以锆粉、氯化钾和氯化锂为蒸镀粉料，与CH4或C3H6经原位反应制备外涂层，形成SiC-ZrC复合涂层；所述的细长金属管内孔中SiC-ZrC复合涂层的制备方法，包括如下步骤：1将硅粉和二氧化硅粉于无水乙醇中分散，搅拌30min并振荡10min，经干燥得到混合均匀的热蒸镀硅粉料；将热蒸镀硅粉料均匀铺在打孔石墨管内部，将打孔石墨管置于金属管内径，用碳纸将打孔石墨管两端垫高，将金属管放入管式炉中进行蒸镀；2反应结束后取出金属管，将锆粉、氯化钾和氯化锂均匀铺在另一根打孔石墨管内部，将打孔石墨管置于金属管中，用碳纸将打孔石墨管两端垫高，将金属管放入管式炉中进行第二次蒸镀，形成SiC-ZrC复合涂层；所述步骤1中硅粉和二氧化硅粉的质量比为1:1；所述步骤1中蒸镀的条件为：以5℃min的升温速率升温至1250-1600℃，通入气体流量为60-100sccm的CH4或C3H6后保温0.5-4h，然后随炉冷却，全程使用氩气作为保护气氛；所述步骤2中锆粉、氯化钾和氯化锂的质量比为80-98:1-10:1-10；所述步骤2中第二次蒸镀的条件为：以5℃min的升温速率升温至1250-1600℃，通入气体流量为60-100sccm的CH4或C3H6后保温0.5-4h，然后随炉冷却，全程使用氩气作为保护气氛。

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权利要求：

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