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【发明公布】具有凹槽和突起的MEMS声音换能器_弗劳恩霍夫应用研究促进协会_202280022299.3 

申请/专利权人:弗劳恩霍夫应用研究促进协会

申请日:2022-03-15

公开(公告)日:2023-12-12

公开(公告)号:CN117223294A

主分类号:H04R1/22

分类号:H04R1/22

优先权:["20210316 DE 102021202573.0"]

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2023.12.29#实质审查的生效;2023.12.12#公开

摘要:本公开的实施例描述了用于产生声音的MEMS声音换能器,包括致动器,该致动器通过一个或多个间隙与周围结构隔开,并且被设计为执行致动器与周围结构之间的相对移动。MEMS声音换能器还包括该周围结构,其中:致动器和周围结构包括通过一个或多个间隙隔开的多个凹槽和突起;以及属于致动器的多个突起以相互啮合的方式位于属于周围结构的多个凹槽中,和或属于周围结构的多个突起以相互啮合的方式位于属于致动器的多个凹槽中。

主权项:1.一种用于产生声音的MEMS声音换能器500、700、800、900、1000,包括:致动器510、710、810,其中,所述致动器510、710、810通过一个或多个间隙520与周围结构530隔开,并且被设置为执行所述致动器510、710、810与所述周围结构530之间的相对移动620;以及所述周围结构,其中,所述致动器510、710、810和所述周围结构530包括多个凹槽510-2、510-5、530-2、530-4、710-2和突起510-1、510-1-1、510-4、530-1、530-1-1、530-5、710-1,其中,属于所述致动器510、710、810的多个突起510-1、510-1-1、510-4、710-1被布置为相间错杂地插入到属于所述周围结构530的多个凹槽530-2中,和或属于所述周围结构530的多个突起530-1、530-1-1、530-5相间错杂地插入到属于所述致动器510、710、810的多个凹槽510-2、510-5、710-2中,其中,相间错杂的元件通过一个或多个间隙520隔开,以及其中,所述相间错杂的元件以下面的方式来通过一个或多个间隙520隔开:所述相间错杂的元件具有随着所述致动器510、710、810和所述周围结构530之间的相对移动而变化的衰减功能。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 具有凹槽和突起的MEMS声音换能器

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