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【发明公布】一种提高SONOS型FLASH电荷保持特性的方法_哈尔滨工业大学_202311393061.4 

申请/专利权人:哈尔滨工业大学

申请日:2023-10-25

公开(公告)日:2024-01-09

公开(公告)号:CN117373518A

主分类号:G11C16/14

分类号:G11C16/14;G11C16/04

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.01.26#实质审查的生效;2024.01.09#公开

摘要:本发明的一种提高SONOS型FLASH电荷保持特性的方法,涉及一种半导体器件特性优化方法。目的是为了克服现有SONOS型非易失性存储器件数据保持能力容易降低变差的问题,本发明具体步骤如下:步骤一、对SONOS型FLASH存储器件进行高压擦除;步骤二、对SONOS型FLASH存储器件进行编程;步骤三、对SONOS型FLASH存储器件进行软擦除;并判断SONOS型FLASH存储器件编程后的阈值电压是否达到饱和;是则完成处理;否则返回执行步骤二。

主权项:1.一种提高SONOS型FLASH电荷保持特性的方法,其特征在于,具体步骤如下:步骤一、对SONOS型FLASH存储器件进行高压擦除;步骤二、对SONOS型FLASH存储器件进行编程;步骤三、对SONOS型FLASH存储器件进行软擦除;并判断SONOS型FLASH存储器件编程后的阈值电压是否达到饱和;是则完成处理;否则返回执行步骤二。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 哈尔滨工业大学 一种提高SONOS型FLASH电荷保持特性的方法

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