申请/专利权人：之江实验室

申请日：2023-03-21

公开（公告）日：2024-02-20

公开（公告）号：CN116296290B

主分类号：G01M11/02

分类号：G01M11/02

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.20#授权;2023.07.11#实质审查的生效;2023.06.23#公开

摘要：一种激光衍射发散角检测方法，所用的激光衍射发射角检测装置包括激光器、基准激光准直元件、激光发射系统、平行光管、光斑探测相机、精密摆镜。首先通过激光器、平行光管、精密摆镜、基准激光准直元件和光斑探测相机对激光准直元件实际有效焦距进行标定测试，然后通过激光器、基准激光准直元件、平行光管和光斑探测相机进行较大衍射束散角的检测，再用激光器、平行光管、激光发射系统、精密摆镜和光斑探测相机对激光发射系统进行实际有效焦距标定。基于两次标定的参数和较大衍射束散角的计算参数，根据所述束散角计算公式进行实际激光发射系统衍射束散角的精确计算。本发明通过精确标定激光相关参数，提高了用光斑分析仪标定计算的精度。

主权项：1.一种激光衍射发散角检测方法，包括如下步骤：步骤1：用所述激光器、平行光管、精密摆镜、基准激光准直元件和光斑探测相机组成基准激光准直元件有效焦距标定系统，控制精密摆镜的小角度摆动，精密摆镜的精度很容易实现1μrad，通过精密摆镜小角度摆动前后，解算出在光斑相机上光斑的位置，从而计算出基准激光准直元件的有效焦距；所述的基准激光准直元件有效焦距标定系统中，激光器发出的激光经平行光管平移后，经精密摆镜折射，再经基准激光准直元件到达光斑探测相机组；步骤2：用所述激光器、基准激光准直元件、平行光管和光斑探测相机组成大衍射发散角检测系统，用光斑探测相机上光斑能量分布计算出实际的光斑大小，该大衍射发散角解算精度与普通焦长法精度相同；激光器发出的激光经基准激光准直元件到平行光管，经平行光管平移后，到达光斑探测相机组；步骤3：用所述激光器、平行光管、激光发射系统、精密摆镜和光斑探测相机组成激光发射系统有效焦距标定系统，控制精密摆镜的小角度摆动，通过精密摆镜小角度摆动前后，解算出在光斑相机上光斑的位置，从而标定激光发射系统的有效焦距；激光器发出的激光经平行光管平移后，经精密摆镜折射，再经激光发射系统到达光斑探测相机组；步骤4：计算激光发射系统的衍射发散角：基准激光准直元件有效焦距标定系统标定的焦距为f1，大衍射束散角检测系统测试的衍射发散角为θ1，激光发射系统有效焦距标定系统标定的焦距为f2，则激光器在激光发射系统产生的衍射束散角为

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百度查询： 之江实验室 一种激光衍射发散角检测方法和装置

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