申请/专利权人：肖特玻璃科技(苏州)有限公司

申请日：2016-02-02

公开（公告）日：2024-02-23

公开（公告）号：CN114751642B

主分类号：C03C3/091

分类号：C03C3/091;C03C4/00;H01L23/29;B32B17/00;B32B9/00;B32B9/04;B32B7/12;B32B38/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.23#授权;2022.08.02#实质审查的生效;2022.07.15#公开

摘要：本发明涉及一种具有低脆性的低CTE硼铝硅酸盐玻璃，特别是用于在晶片级封装WLP应用使用，其具有以摩尔％计的如下组成：SiO2：60‑85，Al2O3：1‑17，B2O3：8‑20，Na2O：0‑5，K2O：0‑5，MgO：0‑10，CaO：0‑10，SrO：0‑10，BaO：0‑10，其中每个多面体的非桥接氧的平均数NBO等于或大于‑0.2且B2O3Al2O3的比值等于或大于0.5，其中NBO定义为NBO＝2×OmolSimol+Almol+Bmol‑4。本发明还涉及由低CTE硼铝硅酸盐玻璃制成的玻璃载体晶片及其作为玻璃载体晶片用于处理硅衬底的用途。本发明还涉及一种提供低CTE硼铝硅酸盐玻璃的方法。

主权项：1.一种用于玻璃晶片的具有低脆性的低CTE硼铝硅酸盐玻璃，所述硼铝硅酸盐玻璃为无碱玻璃，该无碱玻璃以摩尔％计的组成如下： 每个多面体的非桥接氧的平均数NBO等于或大于-0.2并且等于或小于-0.167，并且B2O3Al2O3的比值等于或大于0.5并且小于1，其中NBO定义为NBO＝2×OmolSimol+Almol+Bmol-4。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 肖特玻璃科技(苏州)有限公司 用于玻璃载体晶片的低CTE硼铝硅酸盐玻璃

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