申请/专利权人：广东海洋大学

申请日：2023-07-18

公开（公告）日：2024-02-27

公开（公告）号：CN116907337B

主分类号：G01B9/02

分类号：G01B9/02;G01B11/02;G01N21/45

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.27#授权;2023.11.07#实质审查的生效;2023.10.20#公开

摘要：本发明公开一种迈克尔逊干涉测量装置及精确信号解调方法，装置包括激光器、光循环器、光束发散器、光功率计、第一分光板、第二分光板、第一反射镜、第二反射镜、支撑组件、工业相机、条纹计数器、第一导轨、第二导轨以及第三导轨以及液体槽；所述激光器通过第一光纤连接所述光循环器，所述光循环器分别通过第二光纤和第三光纤连接所述光束发散器和所述光功率计，所述工业相机、第一反射镜活动设置于所述第一导轨，所述第二反射镜活动设置于所述第二导轨，所述条纹计数器活动设置于所述第三导轨。本发明光路调整简单、快捷，安全可靠、精确信号解调方法简单、成本低、灵敏度高等特点，不依赖其他精密仪器即可实现微小浓度的高精度测量。

主权项：1.一种迈克尔逊干涉测量装置，其特征在于，包括激光器、光循环器、光束发散器、光功率计、第一分光板、第二分光板、第一反射镜、第二反射镜、支撑组件、工业相机、条纹计数器、第一导轨、第二导轨以及第三导轨以及液体槽；所述激光器通过第一光纤连接所述光循环器，所述光循环器分别通过第二光纤和第三光纤连接所述光束发散器和所述光功率计，所述激光器发出的光信号经过所述光循环器后通过所述光束发散器呈一发散角输出，形成等倾干涉，所述光束发散器输出的发散光束经所述第一分光板分成反射光束和透射光束，所述反射光束经所述第一反射镜反射后回到所述第一分光板，由所述第一分光板透射到达所述第二分光板；所述第二分光板的第一反射光束由条纹计数器接收，所述第二分光板的第一透射光束由所述工业相机接收，所述透射光束经过所述液体槽后由所述第二反射镜反射回第一分光板后再由第一分光板反射至第二分光板，所述第二分光板的第二反射光束由条纹计数器接收，所述第二分光板的第二透射光束由所述工业相机接收；所述第一导轨与所述第二导轨以及所述第三导轨均垂直，所述第一导轨、第二导轨以及第三导轨上均可转动地设置一个所述支撑组件，所述第一导轨上的支撑组件上设置所述第一分光板，所述第二导轨上的支撑组件上设置所述液体槽，所述第三导轨上的支撑组件上设置所述第二分光板；所述工业相机、第一反射镜活动设置于所述第一导轨，所述第二反射镜活动设置于所述第二导轨，所述条纹计数器活动设置于所述第三导轨；所述液体槽是长方体，与所述第二导轨成一夹角α放置，所述夹角α小于90°。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东海洋大学 一种迈克尔逊干涉测量装置及精确信号解调方法

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