申请/专利权人：佳能株式会社

申请日：2023-07-07

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117706874A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20220913 JP 2022-145605"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.15#公开

摘要：本发明提供有利于装置简化的基板搬送机构、光刻装置以及物品的制造方法。基板搬送机构具有包括保持基板的面的保持部、使上述保持部移动的移动部以及对上述移动部的移动进行引导的导向件，上述导向件的形状是通过上述移动部沿着上述导向件移动而使得上述面的角度变化那样的形状，上述保持部一边在上述面倾斜的状态下保持上述基板一边由上述移动部移动。

主权项：1.一种基板搬送机构，其特征在于，该基板搬送机构具有：包括保持基板的面的保持部；使上述保持部移动的移动部；以及对上述移动部的移动进行引导的导向件，上述导向件的形状是通过上述移动部沿着上述导向件移动而使得上述面的角度变化那样的形状，上述保持部一边在上述面倾斜的状态下保持上述基板一边由上述移动部移动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佳能株式会社 基板搬送机构、光刻装置以及物品的制造方法

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