申请/专利权人：亚历克斯·P·G·罗宾逊;爱德华·杰克逊;约翰·罗斯;汤姆·拉达;格雷格·奥卡拉汉

申请日：2022-07-05

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN117716292A

主分类号：G03F7/004

分类号：G03F7/004

优先权：["20210704 US 63/218,351"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.15#公开

摘要：本专利申请公开了一种物质组合物，其包含溶剂；和具有选自I的化学结构的酯，其中X和Y相同或不同，其中X、Y和R1至R4为具有1至24个碳原子的支链或非支链的、经取代或未经取代的烷基链，其具有取代到链中的0至16个杂原子；为经取代或未经取代的苯基基团、杂芳族基团，或者稠合芳族基团或稠合杂芳族基团或两者的组合。

主权项：1.一种物质组合物，其包含溶剂；和具有化学结构I的酯， 其中X、Y和R1至R4为具有1至24个碳原子的支链或非支链的、经取代或未经取代的烷基链，其具有取代到链中的0至16个杂原子；为经取代或未经取代的苯基基团、杂芳族基团，或者稠合芳族基团或稠合杂芳族基团或两者的组合。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 亚历克斯·P·G·罗宾逊;爱德华·杰克逊;约翰·罗斯;汤姆·拉达;格雷格·奥卡拉汉 增强型EUV光致抗蚀剂及其使用方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD