申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司

申请日：2019-11-15

公开（公告）日：2024-03-15

公开（公告）号：CN111186810B

主分类号：B81B3/00

分类号：B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01H11/06

优先权：["20181115 DE 102018219546.3"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.15#授权;2021.11.30#实质审查的生效;2020.05.22#公开

摘要：本发明涉及一种微机械结构元件100，其具有构造在第二和第三硅功能层20、30中的可运动的振动质量，其中，在所述第二和第三硅功能层20、30中构造有空心体36，所述空心体具有构造在第四硅功能层40中的覆盖元件。

主权项：1.一种微机械结构元件100，所述微机械结构元件具有构造在第二硅功能层和第三硅功能层20、30中的能够运动的呈跷板形式的振动质量，该振动质量以能够绕着扭转轴线33扭转的方式构造，其中，在所述第二硅功能层和所述第三硅功能层20、30中构造有空心体36，所述空心体具有构造在第四硅功能层40中的覆盖元件。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 罗伯特·博世有限公司 微机械结构元件

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