申请/专利权人：株式会社斯库林集团

申请日：2022-06-24

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN117730400A

主分类号：H01L21/304

分类号：H01L21/304

优先权：["20210728 JP 2021-123744"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开

摘要：基板清洗装置具备上侧保持装置。上侧保持装置与基板的外周端部接触，且不使该基板旋转地以水平姿势进行保持。将通过清洗液而湿润的下表面刷压抵于由上侧保持装置保持的基板的下表面中央区域。在该状态下，下表面刷相对于基板的下表面中央区域旋转或移动。由此，清洗基板的下表面中央区域。

主权项：1.一种基板清洗装置，其使用清洗液来清洗基板的上表面及下表面，该基板清洗装置的特征在于，具备：第1基板保持部，其通过与基板的外周端部的多个部分抵接而不使基板旋转且以水平姿势进行保持；清洗刷，其构成为能够与基板的所述下表面接触；刷驱动部，其构成为将所述清洗刷压抵于由所述第1基板保持部保持的基板的所述下表面，并且能够使所述清洗刷相对于由所述第1基板保持部保持的基板相对移动；以及控制部，所述控制部以在不向基板供给清洗液的状态下，将通过清洗液而湿润的所述清洗刷压抵于基板的下表面中央区域，且所述清洗刷在基板的所述下表面中央区域上移动的方式，控制所述第1基板保持部及所述刷驱动部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社斯库林集团 基板清洗装置及基板清洗方法

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