申请/专利权人：显示器生产服务株式会社

申请日：2022-05-31

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN115540521B

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;F26B9/06;F26B21/00;F26B23/06;F26B25/00

优先权：["20210629 KR 10-2021-0084924"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2023.01.20#实质审查的生效;2022.12.30#公开

摘要：本发明提供一种衬底干燥装置，其不仅可以改善在衬底干燥空间内形成的气体的流动并提高衬底的干燥效率，还可以防止外部颗粒流入干燥空间或飞散的雾重新吸附到衬底上，可以提高装置的小型化和耐久性。为此，本发明公开了以下特征，包括：内部壳体，其包括主体壳体和排气壳体，主体壳体在下部形成用于衬底干燥的气体流入的流入孔，在内部形成收纳用于衬底干燥的气体的收纳空间，排气壳体沿与衬底的传送方向交叉的方向结合到主体壳体的两端部，在内部形成与收纳空间连通的排气流路；灯，配置在形成于主体壳体和衬底之间的干燥空间，辐射用于衬底干燥的热量；外部壳体，下部开放以覆盖主体壳体和灯，在与主体壳体之间形成引导气体流动的供气流路。

主权项：1.一种衬底干燥装置，其特征在于，包括：内部壳体，包括：主体壳体和排气壳体，所述主体壳体在下部形成有用于衬底干燥的气体流入的流入孔，并且在内部形成有收纳用于衬底干燥的气体的收纳空间，所述排气壳体结合到所述主体壳体的两端部，并且在内部形成有与所述收纳空间连通的排气流路；灯，配置在形成于所述主体壳体和衬底之间的干燥空间中，辐射用于衬底干燥的热量；以及外部壳体，在上部中心部处形成有流入口，对称设置在所述主体壳体的上方，下部开放以覆盖所述主体壳体和所述灯，下端部与衬底间隔开并与衬底之间形成狭缝，并且在与所述主体壳体之间形成有引导气体流动的供气流路，从外部流入的外部气体在沿着包围所述收纳空间的所述供气流路移动中与收纳在所述收纳空间中的气体进行热交换而被预热，预热后的气体在移动到所述干燥空间的同时被所述灯进一步加热，并且用于衬底的干燥，用于衬底干燥的气体在收纳于所述收纳空间中的同时与沿所述供气流路移动的所述外部气体进行热交换而被冷却之后，被排出到所述排气流路。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 显示器生产服务株式会社 衬底干燥装置

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