申请/专利权人：霍尼韦尔国际公司

申请日：2021-08-31

公开（公告）日：2024-03-19

公开（公告）号：CN114107952B

主分类号：C23C16/455

分类号：C23C16/455;C23C16/06;C23C16/46

优先权：["20200831 US 63/072,366","20210802 US 17/444,220"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.19#授权;2022.03.18#实质审查的生效;2022.03.01#公开

摘要：本发明题为“低温低丰度原子对象分配器”。本发明提供了用于分配原子对象的方法和分配器。用于分配原子对象的示例性方法包括将至少部分地涂覆有包含所述原子对象的组合物的反应部件密封在烘箱内；以及，在所述烘箱设置在压力受控室内的情况下，将所述组合物加热至原子化反应温度以引发原子化化学反应。所述反应部件包括作为所述反应的参与者的材料。所述反应的结果是沉积在所述烘箱内的沉积表面上的元素原子对象。所述原子化反应温度大于分配阈值温度。所述方法还包括允许所述烘箱冷却至所述分配阈值温度以下；以及将所述烘箱加热至分配温度以致使所述元素原子对象通过分配孔从所述烘箱分配。所述分配温度不超过所述分配阈值温度。

主权项：1.一种用于从分配器分配原子对象的方法，所述方法包括：将至少部分地涂覆有包含所述原子对象的组合物的反应部件密封在烘箱内，其中所述烘箱设置在压力受控室内；在所述烘箱设置在压力受控室内的情况下，将包含所述原子对象的所述组合物加热至原子化反应温度以引发原子化化学反应，其中a所述反应部件包含作为所述原子化化学反应的参与者的材料，b所述原子化化学反应的结果是沉积在所述烘箱内的沉积表面上的元素原子对象，并且c所述原子化反应温度大于分配阈值温度；允许所述烘箱冷却至所述分配阈值温度以下；以及将所述烘箱加热至分配温度以致使所述元素原子对象通过分配孔从所述烘箱分配，其中所述分配温度小于或等于所述分配阈值温度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 霍尼韦尔国际公司 低温低丰度原子对象分配器

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